1、多晶硅生产中节能降耗探讨 。研究了不同供料与功率比值对多晶硅复原电耗和一次转化率的影响，对指导实际生产具有重要意义。 关键词：多晶硅；复原；供料与功率比值 进入21世纪以来，随着太阳能光伏发电技术的快速开展和广泛应用，多晶硅产业以惊人的速度迅猛开展和壮大。面对当前世界性传统能源日益枯竭和气候变暖的严峻形势，太阳能作为可再生洁净能源受到了各国的高度重视，许多国家都已将太阳能发电的原材料高纯多晶硅列为战略性材料。当前，在国内外市场的双重压力下，多晶硅价格一路降低，加上国内多晶硅生产本钱远高于国际先进水平，使得国内各多晶硅企业面临极大的生存压力，因此如何降低生产本钱已成为各企业的首要任务。本文主要围
2、绕改良西门子法生产多晶硅的复原工序，对复原炉供料和硅棒功率等参数进行研究，为复原炉运行优化提供参考依据。 1多晶硅复原工序简介 多晶硅复原工序是生产多晶硅成品的环节，其核心设备是气相沉积反响器，也就是通常所说的复原炉，它的控制水平直接关系到多晶硅的产量、本钱和质量。复原工序生产过程如下：一定摩尔比的氢气和三氯氢硅混合气在一定压力下通入到复原炉内，在直径815mm、长2.22.8m的导电硅芯上进行气相沉积反响生成多晶硅，硅棒外表温度控制在202350120230，经过一定时间后长成规定直径的硅棒，反响同时生成四氯化硅、二氯二氢硅及氯化氢等副产物。 2研究方法 本文结合生产实际，在其他因素不变的情
3、况下，将混合气流量与硅棒功率的比值作为研究对象，选取不同供料与功率比值的炉次进行比照，并对运行结果进行分析和总结。 3结果及讨论 3.1不同比值对电耗的影响 通过将复原炉供料与硅棒功率进行关联，得出了两者不同比值时的复原电耗情况，如图1所示。从上述趋势线可以看出，在复原炉供料与功率比值从0.5提至0.9的过程中，复原电耗变化呈抛物线趋势，即先快速下降，到达最低点后又逐步上升，这说明不同的进料比值对复原电耗的影响较大，当比值较小时，复原炉的进料量小，硅棒生长速度较慢导致电耗偏高；而比值较大时，复原炉的进料量增大，硅棒生长速度虽然加快，但同时混合气所带走热量也相应增加，同样也使得复原炉的电耗增加，
4、因此，只有选择适宜的供料与功率比值才能保证复原炉的电耗处于最正确水平。 3.2不同比值对一次转化率的影响 同样按照上述方法得出了不同供料与功率比值时复原炉的一次转化率情况。从上述曲线可以看出，在复原炉供料与功率比值从0.5提至0.9的过程中，一次转化率一直呈下降趋势，这是因为比值较小时，复原炉内供料较少，可供反响的物料相对不多，通入到复原炉内物料能够有效的参与反响，因此一次转化率较高；而当比值较大时，复原炉内供料较多，通入到复原炉内的物料有相当一局部还未参与反响就已被带出去，因此一次转化率较低。从上述数据分析可以看出，多晶硅复原电耗和一次转化率这两个指标在实际生产中存在一定矛盾，因此不同的企业需根据自身特点选取适宜的供料与功率比值，已保证生产能够到达最正确的平衡点。 4结语 在实际的多晶硅复原生产过程中，根据自身复原炉的特点，研究并选取适宜的供料与功率比值，对优化复原炉生产，降低复原电耗，提高一次转化率具有重要的指导意义。 参考文献： 1苗军舰等.西门子法生产多晶硅的热力学j.无机化学学报，202223，（5）：796. 第3页 共3页
