1、ICS71.100.20G86B中华人民共和国国家标准GB/T16942-2009代替GB/T16942一1997电子工业用气体氢Gas for electronic industry-Hydrogen2009-10-30发布2010-05-01实施中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局中国国家标准化管理委员会发布GB/T16942-2009电子工业用气体氢1范围本标准规定了电子工业用氢的技术要求，试验方法以及包装、标志、贮运及安全。本标准适用于以氢气为原料经净化制取的瓶装、集装格装和管道输送的电子工业用氢气。它们主要被用来提供还原气氛，作为外延工艺的载气以及等离子体蚀刻剂的配气原料。分子式：
2、H2。相对分子质量：2.01588（按2005年国际相对原子质量计算）。2规范性引用文件下列文件中的条款通过本标准的引用而成为本标准的条款，凡是注日期的引用文件，其随后所有的修改单（不包括勘误的内容）或修订版均不适用于本标准，然而，鼓励根据本标准达成协议的各方研究是否可使用这些文件的最新版本。凡是不注日期的引用文件，其最新版本适用于本标准。GB190-2009危险货物包装标志GB/T3634.1氢气第1部分工业氢GB/T3723工业用化学产品采样安全通则GB4962氢气使用安全技术规程GB5099钢质无缝气瓶(GB 5099-1994,neq ISO 4705:1993)GB/T6285气体中
3、微量氧的测定电化学法GB7144气瓶颜色标志GB/T8984气体中一氧化碳、二氧化碳和碳氢化合物的测定气相色谱法GB14194永久气体气瓶充装规定气瓶安全监察规程压力容器安全技术监察规程压力管道安全管理与监察规定3技术要求电子工业用气体氢的质量应符合表1的要求。表1技术指标项目指标氢(H2)纯度（体积分数）/10-99.999999.999799.9995氮(N)含量（体积分数）/10-0.52.02氧(O2)含量（体积分数）/10-0.20.20.5一氧化碳(CO)含量（体积分数）/10-0.050.50.2二氧化碳(CO2)含量（体积分数）/10-0.050.5总烃（以甲烷计）含量（体积分数）/10-0.050.20.5水分(HzO)含量（体积分数）/10-0.20.20.5总杂质含量（体积分数）/10-1.02.84.5颗粒供需双方商定供需双方商定供需双方商定注：质量保证期为24个月。1
