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产品几何技术规范(GPS) 表面结构 区域法 第605部分:非接触(点自动对焦探针)式仪器的标称特性 GBT 33523.605-2022.pdf

上传人:la****1 文档编号:2437497 上传时间:2023-06-23 格式:PDF 页数:31 大小:4.22MB
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资源描述

1、GB/T33523.605-2022/1S025178-605:2014前言本文件按照GB/T1.1一2020标准化工作导则第1部分:标准化文件的结构和起草规则的规定起草。本文件是GB/T33523产品几何技术规范(GPS)表面结构区域法的第605部分。GB/T33523已经发布了以下部分:一第1部分:表面结构的表示法;一第2部分:术语、定义及表面结构参数;一第3部分:规范操作集;一第6部分:表面结构测量方法的分类;一第70部分:实物测量标准;一第71部分:软件测量标准;一第72部分:XML文件格式x3p:一第601部分:接触(触针)式仪器的标称特性:一第602部分:非接(共聚焦色差探针)式仪

2、器的标称特性:一第603部分:非接触(相移干涉显微)式仪器的标称特性:一第604部分:非接触(相干扫描干涉)式仪器的标称特性:一第605部分:非接触(点自动对焦探针)式仪器的标称特性;一第606部分:非接触(变焦)式仪器的标称特性:一第701部分:接触(触针)式仪器的校准与测量标准。本文件等同采用1S025178-605:2014产品几何技术规范(GPS)表面结构区域法第605部分:非接触(点自动对焦探针)式仪器的标称特性。请注意本文件的某些内容可能涉及专利。本文件的发布机构不承担识别专利的责任。本文件由全国产品几何技术规范标准化技术委员会(SAC/TC240)提出并归口。本文件起草单位:哈尔滨工业大学、山东大学、清华大学、中国计量大学、厦门万明电子有限公司、中国航发动力股份有限公司、北京时代之峰科技有限公司、中机生产力促进中心有限公司、华中科技大学、深圳市中图仪器股份有限公司、中机研标准技术研究院(北京)有限公司、广东锦亚科技有限公司、陕西智恒电器科技有限公司、陕西润正检测科技有限公司。本文件主要起草人:刘辰光、同鹏、尉吴發、赵军、张丽、王双英、明翠新、刘俭、卢文龙、马俊杰、朱悦、曹世磊、张德军、平鸽、向伟明。

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