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电子工业用气体 四氟化硅 GBT 31058-2014.pdf

上传人:sc****y 文档编号:2445055 上传时间:2023-06-23 格式:PDF 页数:7 大小:1MB
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资源描述

GB/T31058-2014表1(续)项目指标一氧化碳(C0)含量(体积分数)1050.1二氧化碳(C02)含量(体积分数)/10150.3甲烷(CH,)含量(体积分数)/10N101硫化氢(H2S)含量(体积分数)h0-0.1二氧化硫(S0,)含量(体积分数)/10254.1.2纯度为99.99910-2(体积分数)的四氟化硅产品应逐瓶检验。当检验结果有任何一项指标不符合本标准技术要求时,则判该产品不合格。4.1.3四氟化硅采样安全应符合GB/T3723中的相关规定。4.2四氟化硅纯度4.2.1总杂质含量按式(1)计算:布g=布1十币2十币3十市,十币写十币6十市,十币g(1)式中:中,一总杂质含量(体积分数),106,D,一氢气的含量(体积分数),105;

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