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电子级多晶硅 GBT 12963-2022.pdf

上传人:g****t 文档编号:2445342 上传时间:2023-06-23 格式:PDF 页数:8 大小:1.12MB
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资源描述

1、GB/T12963-2022前言本文件按照GB/T1.1一2020标准化工作导则第1部分:标准化文件的结构和起草规则的规定起草。本文件代替GB/T12963一2014电子级多品硅,与GB/T12963一2014相比,除结构调整和编辑性改动外,主要技术变化如下:)更改了适用范围(见第1章,2014年版的第1章):b)更改了牌号要求(见4.1,2014年版的4.1.1):c)更改了产品等级(见4.2,2014年版的4.1.2):d)更改了不同等级电子级多品硅的技术指标(见5.1,2014年版的4.2):c)更改了结构要求(见5.3,2014年版的4.4):D更改了试验方法的内容(见第6章,2014

2、年版的第5章):g)更改了检验项目的要求(见7.3,2014年版的6.3):h)更改了取样及制样的内容(见7.4.1,2014年版的6.4.1):i)更改了氧含量的检验结果判定(见7.5.2,2014年版的6.5.1):j)更改了标志的内容(见8.1,2014年版的7.1):k)更改了随行文件的内容(见8.5,2014年版的7.5)。请注意本文件的某些内容可能涉及专利。本文件的发布机构不承担识别专利的责任。本文件由全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC203)与全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分技术委员会(SAC/TC203/SC2)共同提出并归口。本文件起草单位:江苏鑫华

3、半导体科技股份有限公司、有色金属技术经济研究院有限责任公司、青海黄河上游水电开发有限责任公司新能源分公司、江苏中能硅业科技发展有限公司、有研半导体硅材料股份公司、麦斯克电子材料股份有限公司、亚洲硅业(青海)股份有限公司、陕西有色天宏瑞科硅材料有限责任公司,新特能源股份有限公司、四川永祥新能源有限公司、上海赛夫特半导体材料有限公司、宜昌南玻硅材料有限公司、浙江海纳半导体股份有限公司、洛阳中硅高科技有限公司、东方电气(乐山)峨半高纯材料有限公司。本文件主要起草人:田新、蒋文武,赵培芝、万首正、李素青、秦榕、王形、孙燕、贺东江、陈卫群、宗冰、徐岩、邱艳梅、李斌、刘晓霞、张遵、付绪光、董先君、潘金平、张园园、雷聪。本文件于1991年首次发布,1996年第一次修订,2009年第二次修订,2014年第三次修订,本次为第四次修订。

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