光伏电池用硅材料中P、As、Sb施主杂质含量的二次离子质谱测量方法 GBT 29852-2013.pdf

GB/T29852-2013前言本标准按照GB/T1.1一2009给出的规则起草。请注意本文件的某些内容可能涉及专利。本文件的发布机构不承担识别这些专利的责任。本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC203)提出并归口，本标准起草单位：信息产业专用材料质量监督检验中心、中国电子技术标准化研究院、国家电子功能与辅助材料质量监督检验中心、天津市环欧半导体材料技术有限公司。本标准主要起草人：马农农、何友琴、王东雪、何秀坤、冯亚彬、裴会川、张雪囡。I