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硅单晶 GBT 12962-1996.pdf

上传人:sc****y 文档编号:2452278 上传时间:2023-06-24 格式:PDF 页数:11 大小:1.41MB
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资源描述

GB/T12962-1996前言本标准参照国外有关标准,结合我国硅材料的使用情况,对GB12962一91进行修订而成的。修订时保留了原标准中符合我国实际的内容。修订后的本标准,去了原标准中直拉硅单晶直径为38mm、80mm、90mm规格,增加了直径125mm、150mm规格,对硅单晶的旋祸缺陷密度和微缺陷密度指标改为由供需双方商定;对径向电阻率变化指标,增加了距边缘6mm测点(见GB11073的B方案)计算:对区熔硅单晶和中子嬗变掺杂硅单晶的径向电阻率变化指标,改为按GB11073的C方案或B方案测量和计算。中子墟变摻杂硅单晶增加了微区电阻率条纹内容。与本标准配套的标准有:GB/T12964硅单晶抛光片GB/T12965硅单晶切割片和研磨片本标准从1997年4月1日起实施,本标准从生数之日起,代替GB12962一91。本标准由中国有色金属工业总公司提出。本标准由中国有色金属工业总公司标准计量研究所归口。本标准起草单位:峨眉半导体材料厂和中国有色金属工业总公司标准计量研究所。本标准主要起草人:王鸿高、刘文魁、尹建华、吴福立。本标准首次发布日期:1991年6月。

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