1、GB/T31563-2015金属覆盖层厚度测量扫描电镜法1范围本标准规定了通过扫措电子显微镜(SEM)检测金属试样横截面局部厚度的方式测量金属涂层厚度的方法。它通常是一种破坏性的检测方式，不确定度小于10%，或者0.1m。该测量方法也可以用来测量几个毫米厚的涂层，但是对于这类厚涂层建议采用光学显微镜法(GB/T6462)进行测量。2规范性引用文件下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件，仅注日期的版本适用于本文件。凡是不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本文件。GB/T6462金属和氧化物覆盖层厚度测量显微镜法(GB/T6462一2005,1S01463:
2、2003,IDT)GB/T12334金属和其他非有机覆盖层关于厚度测量的定义和一般规则(GB/T12334一2001，IS02064:1996,1DT)GB/T27788一2011微束分析扫描电镜图像放大倍率校准导则(1S016700:2004,IDT)3术语和定义下列术语和定义适用于本文件。3.1局部厚度local thickness在涂层的一个指定区域内进行多次测量，取平均值所得的厚度值。GB/T12334-2001,3.44原理将试样沿垂直于涂层水平方向切割，并经过仔细打磨和抛光，制成金相试样，放入扫描电子显微镜中进行检测。测量是通过常规的涂层截面显微图片，来获得涂层的厚度。5仪器5.1扫描电子显微镜(SEM)分辨率应优于50nm。5.2SEM台置测微标尺用于校准扫描电子显微镜的放大倍数，其不确定度的误差值应小于5%，1
