1、GB/T26111-2010微机电系统(MEMS)技术术语1范围本标准规定了微机电系统领域所涉及的材料、设计、加工、封装、测量以及器件等方面的通用术语和定义。本标准适用于微机电系统领域的研究、开发、评测和应用。2规范性引用文件下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件，仅所注日期的版本适用于本文件。凡是不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本文件。GB/T2900.66一2004电工术语半导体器件和集成电路(1EC60050-521:2002,1DT)3术语和定义3.1综合性术语3.1.1微机电系统micro-electromechanical systems
2、,MEMS微系统microsystem微机械micromachine关键（部件）特征尺寸在亚微米至亚毫米之间，能独立完成机电光等功能的系统。注1：微机电系统一般包括微型机构、微传感器、微执行器、信号处理和控制、通讯接口电路以及能源等部分。注2：微机电系统通常需要多学科领域技术的综合应用，例如机、电，光、生物等多补领域，注3：MEMS主要在美国使用，微系统主要在欧洲使用，微机械主要在日本使用。3.1.2微机电系统技术nicr-electromechanical system technologiesMEMS技术实现微机电系统的技术。3.1.3微科学与工程micro-science and engineering针对于微机电系统的微观科学与工程。注：随着微机电系统构件尺寸的减小，许多物理特性发生了变化。主要有两类情况：1)这些变化有时可以由宏观世界的变化推断出来，2)随着微观效应的增强，使得这种推断变得不可能。对于后者，我们不仅要建立新的理论和经验公式来解样微观世界的现象，而且需要研究新的工程分析和归纳方法，可以针对微机电系统开展材料学、流体力学、热力学、摩擦学、控制工程、运动学等微观科学的系统研究，3.1.4生物MEMS bio-MEMS与生物或生物医学技术相结合的MEMS。1EC62047-1:2005,定义2.8.11
