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微束分析 扫描电镜 图像放大倍率校准导则 GBT 27788-2020.pdf

上传人:g****t 文档编号:2495362 上传时间:2023-06-25 格式:PDF 页数:21 大小:2.86MB
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资源描述

1、GB/T27788-2020/1S016700:2016微束分析扫描电镜图像放大倍率校准导则1范团本标准规定了使用适当的参考物质对扫描电镜(SEM)图像的放大倍率进行校准的方法。本标准适用于对由校准参考物质上间距大小的可用范围决定的放大倍率进行校准。本标准不适用于专用测长型扫描电镜。2规范性引用文件下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件,仅注日期的版本适用于本文件。凡是不注日期的引用文件,其最新版本(包括所有的修改单)适用于本文件。GB/T27025一2008检测和校准实验室能力的通用要求(1S0/IEC17025:2005,IDT)ISO导则3o标准样品常用术语和定义(R

2、eference materials-一Selected terms and definitions)ISO导则34标准样品生产者能力的通用要求(General requirements for the competence of ref-erence material producers)ISO导则35标准样品定值的一般原则和统计方法(Reference materials-一General andstatistical principles for certification)3术语和定义下列术语和定义适用于本文件。3.1扫描电镜scanning electron microscopeSEM通过电子束扫描试样表面产生放大图像的一种仪器。3.2图像image由扫描电镜(3.1)产生的试样表面的二维表征,注:用扫描电镜拍摄的试样照片就是图像的一种。3.3图像放大倍率image magnification图像显示的线性尺度与试样上被扫描区域的相应线性尺度之比。3.4标尺scale marker图像(3.2)上表示试样上特定实际长度的线段或间隔。3.5参考物质reference materialRM一种或多种特性足够均匀和稳定的物质,已被确认适合于在测量过程中使用。1

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