1、GB/T32653-2016微机械系统加速度检波器1范团本标准规定了微机械系统加速度检波器的术语和定义、标记、要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、贮存。本标准适用于地震期探用微机械系统加速度检波器。2规范性引用文件下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件，仅注日期的版本适用于本文件。凡是不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本文件。GB/T191包装储运图示标志GB/T2829一2002周期检验计数抽样程序及表（适用于对过程稳定性的检险）GB/T6587一2012电子测量仪器通用规范3术语和定义下列术语和定义适用于本文件。3.1微机械系统加速度检波器
2、microelectro mechanical system acceleration geophoneEMS加速度检波器由微电子机械系统构成的，能检测振动加速度的地震传感器。3.2三分量MEMS加速度检波器MEMS three components acceleration geophone由三个MEMS加速度检波器芯体组成，能接受同一物理点上三个不同方向振动加速度的地震传感器3.3灵敏度温度系数sensitivity thermal coefficient满量程条件下，MES加速度检波器灵敏度随单位温度的相对变化量。3.4输出漂移output offset加速度为零时，MEMS加速度检波器的输出。3.5输出漂移温度系数offset thermal coefficient单位温度变化所引起的MEMS加速度检波器输出漂移的变化。3.6失真度distortion特定频率的标准正弦波，用规定的速度驱动MEMS加速度检波器，MEMS加速度检波器输出信号谐波分量的均方根值与基波分量有效值之比的百分数。
