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微机电系统(MEMS)技术 MEMS谐振敏感元件非线性振动测试方法 GBT 34898-2017.pdf

上传人：g****t 文档编号：2495564 上传时间：2023-06-25 格式：PDF 页数：14 大小：1.89MB
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资源描述

GB/T34898-2017前言本标准按照GB/T1.1一2009给出的规则起草。本标准由全国微机电技术标准化技术委员会(SAC/TC336)提出并归口。本标准起草单位：北京遥测技术研究所、中机生产力促进中心。本标准主要起草人：李庆丰、金小锋、李海斌、朱悦、程红兵。

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