1、GB/T21636-2021/1S023833:2013微束分析电子探针显微分析(EPMA)术语1范围本文件界定了电子探针显微分析(EPMA)实践中使用的术语，包括一般概念的术语和按仪器、分析方法分类的特定概念的术语。本文件适用于相关领域(SEM、AEM、EDX等)的所有标准和实践文件中通用术语的定义。2规范性引用文件本文件没有规范性引用文件。3缩略语下列缩略语适用于本文件。BSE:背散射电子(backscattered electron)CRM:有证参考物质、标准样品(certified reference material)EDS:能谱仪(energy-dispersive spectro
2、meter).EDX:能谱法(energy-dispersive X-ray spectrometry)EPMA:电子探针显微分析(electron probe microanalysis)电子探针显微分析仪(electron probe microanalyzer)eV:电子伏(electron volt)keV:千电子伏(kilo electron volt)SE:二次电子(secondary electron)SEM:扫描电子显微镜(scanning electron microscope)WDS:波谱仪(wavelength-dispersive spectrometer)WDX:波谱法(wavelength-dispersive X-ray spectrometry)4电子探针显微分析用一般术语定义4.1电子探针显微分析electron probe microanalysis:EPMA根据聚焦电子束与试样微米至亚微米尺度的体积相互作用激发X射线的谱学原理，对电子激发体积内的元素进行分析的技术。4.1.1定性电子探针显微分析qualitative EPMA通过标识X射线谱峰的方法来鉴别试样电子激发体积中元素组成的电子探针显微分析方法。
