GB/T40333-2021/ISO 14291:2012引言四极质谱仪(QMS)现在不但可应用于真空检漏和残余气体分析，而且还可作为定量分析仪器应用在诸如物理和化学气相沉积，以及刻蚀等过程控制中。总压力、混合气体组分、仪器参数设置、环境条件等因素均会对四极质谱计的测量结果、测量不确定度产生重要影响。因此，四极质谱仪的校准不可能覆盖到所有应用场合，校准要满足特定的使用条件或标准化条件。同时为方便用户比较不同制造商生产的四极质谱计的性能，并能够正确使用仪器，有必要对此标准化。本标准通过规范术语和参数，迈出了确立四极质谱仪标准化校准过程方向的第一步。I
