1、 请参阅最后一页的重要声明 证券证券研究报告研究报告半导体设备系列动态之半导体设备系列动态之八八 国内厂商复产较好，国内厂商复产较好，海外疫海外疫情情或影响国际或影响国际设备设备厂厂 Q Q1 1 业绩业绩 行业动态信息行业动态信息 一、一、行业综合信息更新行业综合信息更新 从从资金面资金面看看：1）一期大基金部分项目已逐步退出，其中汇顶科技、国科微减持部分均实现超 100%收益率。二期大基金开始进入实质性投资阶段，根据其管理人透露及我们的推断，二期大基金有望重点支持半导体设备领域及武汉地区相关项目的发展；2）国内封测龙头长电科技在年初发布 30 亿固定资产投资计划后，于 3 月 10 日再次
2、公告将追加 8.3 亿的投资用于重点客户产能扩充，有望带来更多设备订单。从需求面看，国内大型代工厂及存储厂均已实现复工从需求面看，国内大型代工厂及存储厂均已实现复工：1）代工厂方面，中芯国际在疫情期间产能利用率保持 100%，并上调 Q1业绩指引收入增长 6%-8%、毛利率至 25%-27%；华虹半导体预计其 12 英寸产线的产能扩充将会加速；2）存储器方面，长江存储对外披露其总部员工已经实现全复工，产能利用率达到 73%。我们预计，公司原计划的 3 万片/月产能爬坡有所推迟，但全年产能计划仍有望按期进行；长鑫存储发布其 DRAM 产品。从海外市场看，主要半导体从海外市场看，主要半导体设备厂预
3、计设备厂预计 Q1 业绩均受到不同程度业绩均受到不同程度冲击冲击：应用材料取消其 2020 财年 Q2 业绩指引，ASML 下调其2020Q1 营收预测约 20%，泛林半导体表示 2020Q1 业绩指引或难实现，台积电或推迟其 3nm 试生产计划。二、二、下游产线进度及招标更新下游产线进度及招标更新 从产线进度看，从产线进度看，特色工艺产线进展较多特色工艺产线进展较多：1）特色工艺线方面，积塔半导体正式投片，预计 2020 年进入产能爬坡及设备采购高峰；2）士兰微厦门 12 英寸厂特色工艺生产线预计年底通线，工艺设备将在 5、6 月搬入。从招标数据看，一季度长江存储公示了第 33-38 批采购
4、设备。当前长江存储共采购 253 台刻蚀设备，其中中微公司共中标 38 台，份额约 15%；北方华创份额约 3%。此外北方华创还中标 4 台退火设备、3 台成膜设备和 2 台炉管设备；上海精测中标 3 台量测设备；盛美半导体中标一台清洗机，沈阳拓荆中标一台成膜设备；中科飞测中标 1 台量测设备。三、半导体设备公司更新三、半导体设备公司更新 1）北方华创收购北广科技切入射频领域，推出股权激励计划；2）中微公司推出几乎覆盖全员的股权激励；3）盛美半导体：首台无应力抛光设备交付，预计 2020 年收入保持 30%高增长。维持维持 买入买入 吕娟吕娟 021-68821610 执业证书编号：S1440
5、519080001 香港证监会中央编号：BOU764 韦钰韦钰 13022128047 执业证书编号：S1440520020002 发布日期：2020 年 04 月 10 日 市场市场表现表现 相关研究报告相关研究报告 20.03.18 半导体设备系列动态之七：北方、中微先后推股权激励计划，凝聚职工力量促发展 20.03.13 半导体设备系列动态之六：大基金二期月底开始实质投资，多角度利好半导体设备厂商 20.01.19 半导体设备系列动态之五：中微公司全年利润翻倍，长江存储新年“礼包”不断 19.12.31 半导体设备系列动态之四：四季度重点关注存储器项目和特色工艺线进展 -18%-13%-
6、8%-3%2%7%2019/4/92019/5/92019/6/92019/7/92019/8/92019/9/92019/10/92019/11/92019/12/92020/1/92020/2/92020/3/92020/4/9专用设备上证指数专用设备专用设备 1 专用设备专用设备 行业动态研究报告 请参阅最后一页的重要声明 目录目录 一、行业综合信息更新.2 1.1 资金面：二期大基金正式进入实质性投资阶段，有望加强国产设备领域投资.2 1.2 需求面：国内代工厂、存储器厂商产能受疫情影响较小，多已恢复正常运转.3 1.3 海外市场：海外龙头设备厂商 2019Q4 业绩普遍回暖，但 20
7、Q1 指引有所下调.4 二、下游产线进度及招标更新.7 2.1 产线进度：士兰微、积塔产线取得推进.7 2.2 招标更新：长江存储重要更新、华力 12 寸项目有部分更新.7 三、半导体设备公司更新.8 3.1 北方华创：收购北广科技切入射频领域，推出股权激励计划凝聚职工力量.8 3.2 中微公司：股权激励覆盖大部分员工，充分调动职工积极性.8 3.3 盛美半导体：首台无应力抛光设备完成交付，预计 2020 年收入仍将保持 30%高增速.9 四、风险因素.9 rQtQtNvMpOmMtMtQtMnRqR7NaO9PpNrRpNnNkPrRsOiNmNoO6MoMnMuOsOsMuOsRxP 2
8、专用设备专用设备 行业动态研究报告 请参阅最后一页的重要声明 一、一、行业行业综合信息综合信息更新更新 1.1 资金面：二期大基金正式进入实质性投资阶段，有望加强国产设备领域投资 1）大基金：）大基金：一期大基金部分项目已一期大基金部分项目已部分部分成功成功退出，二期大基金将重点支持设备领域及武汉地区相关项目退出，二期大基金将重点支持设备领域及武汉地区相关项目 一期大基金已基本完成投资，部分项目实现已成功退出。一期大基金已基本完成投资，部分项目实现已成功退出。根据汇顶科技公告，自 1 月 14 日至 3 月 23 日，大基金通过集中竞价交易方式累计减持公司股份 455.73 万股，占公司总股本
9、的 1%，减持价格区间为 249.39 元/股至 312.03 元/股，减持总金额 12.59 亿元。本次减持后，大基金仍持有汇顶科技 2564.27 万股，占公司总股本的5.62%；国科微也公告，自1月14日至3月20日，大基金共减持公司股份179.99万股，占公司总股本的0.9976%，减持均价为 53.81 元/股。本次减持完成后，大基金还持有国科微股份 2632.56 万股，占公司总股本的 14.59%。回溯历史，汇顶科技 2017 年 11 月 23 日公告，大基金拟以 93.69 元/股的价格受让大股东持有的公司股份3020 万股（占当时总股本的 6.65%），交易总金额为 28.
10、29 亿元。据此，大基金此次减持的 455.73 万股成本约4.25 亿元，收益约 8.34 亿元，投资回报率约 196.24%。同样的，在国科微上市前，大基金以 4 亿元增资取得公司股份 1764.7 万股，占公司总股本的 15.79%。由于高送转等原因，本次减持前，大基金持股 2812.55 万股，占公司总股本的 15.59%。据此计算，大基金对国科微1%股份的投资成本约为 2565.75 万元，减持后的收益 7119.51 万元，投资回报率约 277.48%。图表图表1：大基金一期部分项目减持退出部分收益率超大基金一期部分项目减持退出部分收益率超 100%被减持公司被减持公司 减持方式减
11、持方式 减持价格区间减持价格区间/均价均价(元元)减持部分回报率减持部分回报率 剩余持股比例剩余持股比例 汇顶科技 集中竞价 249.39-312.03 196.24%5.62%国科微 集中竞价 53.81 277.48%14.59%资料来源：公司公告，中信建投证券研究发展部 二期大基金于2019年10月22日成立，其注册资本为2041.5 亿元，相较于一期大基金最终实际募资的1387.2亿元提升 654.3 亿元。参考一期大基金，按照 1:5 的杠杆计算，判断二期大基金理论上可以撬动万亿级别的投资。据中证报报道，二期大基金于 2020 年 3 月底正式开启实质性投资。根据我们的判断，二期大基
12、金有两点变化值得关注：第一，判断二期大基金将会加大半导体设备领域的投资。我们认为，一期大基金已经基本完善整个半导体产业链的布局，而二期大基金则会更关注整个产业链的国产化率的提升。结合国家大基金的管理人华芯投资对外披露的信息来看，其明确表示将会继续保持在刻蚀、薄膜、测试、清洗四个设备领域已有的高强度支持。第二，除了直接的资金支持外，二期大基金还可能会通过帮助产业链上的企业进行资源整合的方式来支持国产设备厂商的发展。比如联合产业链上企业为国产设备企业提供更多验证测试的机会，或者建立联合试验产线，加速国产设备从验证到批量采购的速度等。除了投资向设备领域倾斜外，由于受到疫情影响，武汉地区半导体产业的发
13、展或多或少受到了一定的冲击。大基金目前虽未明确表示具体的投资标的，但已明确表示会支持武汉地区相关项目及其产业的发展，相应产业链标的或将迎来投资机会。3 专用设备专用设备 行业动态研究报告 请参阅最后一页的重要声明 2）继继 30 亿固定亿固定资产资产投资投资规划规划后，长电科技再次追加后，长电科技再次追加 8.3 亿元扩充产能亿元扩充产能 3 月 10 日，长电科技发布公告称董事会第五次临时会议审议通过了关于公司追加 2020 年度固定资产投资计划的议案。议案显示，为达成 2020 年公司经营目标，满足重点客户市场需求，拟追加固定资产投资 8.3亿元人民币用于重点客户产能扩充。2020 年年初
14、，长电科技董事会审议通过关于公司 2020 年度固定资产投资计划的议案。议案显示，为达成 2020 年公司经营目标，并适度提前准备未来生产经营所需的基础设施建设，2020 年固定资产投资计划安排30 亿元人民币。投资主要用途包括：重点客户产能扩充 14.3 亿元人民币，其他零星扩产 6.8 亿元人民币，日常维护 5.9 亿元人民币，降本改造、自动化、研发以及基础设施建设等共 3.0 亿元人民币。从上述投资用途可见，今年长电科技原计划用于扩产（包括重点客户产能扩充及其他零星扩产）的固定资产投资金额为 21.1 亿元。如今时隔不到两月，长电科技再追加 8.3 亿元用于重点客户产能扩充。1.2 需求
15、面：国内代工厂、存储器厂商产能受疫情影响较小，多已恢复正常运转 1）代工厂代工厂：中芯国际产能利用率未受疫情影响保持中芯国际产能利用率未受疫情影响保持 100%并上调并上调 2020Q1 业绩业绩，华虹华虹 12 寸扩产提速寸扩产提速 3 月 20 日，中芯国际在其公众号表示，疫情期间公司生产经营保持正常，产能利率用 100%，在京员工零感染。其副总裁张昕表示，前期产业链上游企业供货和服务产生延迟，在各级政府的大力帮助和协调下，已经得到了基本解决。当前，中芯国际北京厂按照员工不同情况分类管理，鼓励员工在疫情期间尽量轮休轮班、远程办公，必要人员返岗以保障生产，目前生产正常。根据中芯国际公告，公司
16、 2019Q4 产能利率用达到 99%，根据其资本开支计划，先进制程方面，计划 14nm 在 3 月达到 3K，7 月达到 9K，12 月达到 15K；成熟制程方面，8 英寸产能将每月提升 30K，由天津、上海、深圳的晶圆厂共同实现；12 寸产能将每月提升 20K，主要由北京晶圆厂实现。4 月 7 日，中芯国际发布公告称，公司上调其最初于该公告内发布的截至 2020 年 3 月 31 日止 3 个月的收入和毛利率指引。截至 2020 年 3 月 31 日止 3 个月的收入增长指引由原先的 0%至 2%上调为 6%至 8%。截至 2020年 3 月 31 日止 3 个月的毛利率指引由原先的 21
17、%至 23%上调为 25%至 27%。公司首席财务官高永岗博士透露，公司上调 2020Q1 收入及毛利率指引的原因在于公司产品需求增长以及产品组合的优化均超出预期。华虹半导体方面，根据其 2019 年年度业绩预告显示，2019 年全年产能利用率为 91.2%，其中 2019Q4 的产能利用率为 88.0%，其中 8 寸产能利用率下降的原因在于 12 寸产品出来后将部分产品从 8 寸转移至 12 寸，之后会回到 90%的高位。华虹半导体表示，随着市场向好，华虹半导体也加快了 12 英寸产线的产能扩充进度，预期能更快更好的掌握相关技术的市场机会。2）存储器厂：长江存储已实现全复工）存储器厂：长江存
18、储已实现全复工，长鑫存储发布，长鑫存储发布 DRAM 产品产品 3 月 26 日，长江存储对外披露其总部员工通过线下和远程办公相结合的方式实现了全部复工，当前产能利用率达到 73%。项目当前产能为 2 万片/月，原计划 3 月底 4 月初实现 3 万片/月的产能，并在第四季度实现 5万片/月的产能，并逐步向 7 万片/月、10 万片/月的产能进行扩张。受到疫情影响，原计划中 3 万片/月的产能有所推迟，主要是由于疫情条件下相应的设备装机有所推迟，但其 5 万片/月的产能计划暂未进行推迟。4 专用设备专用设备 行业动态研究报告 请参阅最后一页的重要声明 长鑫存储方面，其当前产能为 2 万片/月，
19、预计将在年底实现 4 万片/月，该产能爬坡计划暂未推迟。此外，长鑫存储于 2 月 26 日正式发布其 DRAM 产品，包括 8Gb DDR4 芯片、8GB DDR4 内存条、2GB/4GB LPDDR4X产品，均符合国际通行标准规范，相较于上一代 DDR3 芯片，拥有更快的数据传输速率，更稳定的性能和更低的功耗，将广泛用于目前主流市场，包括电脑、台式 PC、手机、平板、电视、人工智能等消费类电子产品。1.3 海外市场：海外龙头设备厂商 2019Q4 业绩普遍回暖，但 20Q1 指引有所下调 1）应用材料应用材料(AMAT)营收营收 19Q4 同环比同环比回升，疫情影响下撤销回升，疫情影响下撤销
20、 2020 财年财年 Q2 业绩指引业绩指引 根据公司公告，2019 年全年公司实现营业收入约合人民币 1040.7 亿元(150.17 亿美元)，较 2018 年的 1126.3亿元同比下滑 7.6%；同时全年实现净利润 195.9 亿元，较 2018 年的 253.2 亿元同比下滑 22.6%。其中，2019Q4业绩同环比均强势提升，呈现复苏态势。Q4 单季度实现营业收入 288.4 亿元，较 2018 年的 260.1 亿元同比提升10.9%，同时较 2019 年 Q3 环比也提升 10.9%；Q4 实现净利润 61.8 亿元，较 2018Q4 的 53.4 亿元同比提升 15.7%，较
21、 2019Q3 环比提升 27.8%，复苏态势明显。图表图表2：应用材料应用材料 2018-2019 年营业收入呈现年营业收入呈现 V 字反转，字反转，2019 年业绩逐季提升年业绩逐季提升 资料来源:AMAT、中信建投证券研究发展部 3 月 24 日，应用材料发布消息称，因公共卫生事件影响到供应链及制造业务，决定撤销其 2020 财年 Q2(对应 2020.1.27-2020.4.26)的业绩指引，并进一步表示目前情况变化较快，将在下一次直播中提供更多的信息。2）ASML2019 年业绩逆势再创新高，受疫情影响下调年业绩逆势再创新高，受疫情影响下调 2020Q1 业绩指引，并暂停股票回购业绩
22、指引，并暂停股票回购 2019 年，在全球半导体设备呈现颓势之下，受益于 EUV 光刻机需求增长，ASML 实现了业绩逆势增长。根据公司业绩报告会披露，2019 全年实现营收 894.8 亿元，较 2018 年 828.5 亿元提升 8.0%；其中实现净利润196.2 亿元，与 2018 年的 196.2 亿元持平。其中 Q4 实现收入 305.5 亿元，较 2018 年 Q4 的 237.9 亿元同比提升28.4%；Q4 实现净利润 85.8 亿元，较 2018 年 Q4 的 59.7 亿元同比提升 43.9%。260.1 288.4-25%-20%-15%-10%-5%0%5%10%15%
23、0501001502002503003502018Q12018Q22018Q32018Q42019Q12019Q22019Q32019Q4营业收入环比增速同比增速亿元 5 专用设备专用设备 行业动态研究报告 请参阅最后一页的重要声明 图表图表3：ASML 营业收入增长态势强劲，营业收入增长态势强劲，2019Q4 保持近保持近 30%同比增速同比增速 资料来源:ASML、中信建投证券研究发展部 4 月 1 日，ASML 在官网上提供了一份有关第一季度预期结果的最新信息，由于冠状病毒（COVID-19）的影响，ASML 宣布下调 Q1 季度营收预期至 24-25 亿欧元，较前期指引的 31-33
24、亿欧元下降约 20%，并同时宣布暂停了金额约为 5.7 亿欧元的股票回购。按照当前形势的预计，ASML 在 2020 年原定 35 台光刻机的销售计划中，或将有 57 台不能如期交付（或被取消订单）。此外 ASML 还表示，光刻机生产并未受到影响，客户需求也同样没有减少，只是部分订单遭遇取消或延迟交付。对于中国客户，ASML 也指出 DUV 光刻机运输中国武汉及其它客户遇到延迟。DUV 光刻机发货延迟，深紫外光（DUV）仍在卖给中国，但极紫外光(EUV)并未明确。3）泛林半导体）泛林半导体 2019Q4 营收实现营收实现环比、同比环比、同比增速增速由负转正由负转正，暂闭加州厂，暂闭加州厂，20
25、20Q1 业绩指引或难实现业绩指引或难实现 根据泛林半导体业绩说明会报告，公司2019年实现营业收入655.5亿元，较2018年的753.4亿元下滑13.0%；实现归母净利润143.4亿元，较2018年的201.1亿元下滑53.6%。其中2019Q4实现营业收入179.0亿元，较2018Q4的 174.8 亿元同比增长 2.4%，环比提升 19.3%；此外，Q4 实现归母净利润 35.7 亿元，较 2018 年 Q4 的 39.4 亿元同比下降 9.6%，环比提升 10.5%。图表图表4：泛林半导体营收泛林半导体营收自自 2019Q3 开始开始进入回升通道进入回升通道 237.9 305.5-
26、40%-30%-20%-10%0%10%20%30%40%0501001502002503003502018Q12018Q22018Q32018Q42019Q12019Q22019Q32019Q4营业收入(亿元)同比增速环比增速亿元 6 专用设备专用设备 行业动态研究报告 请参阅最后一页的重要声明 资料来源:LAM、中信建投证券研究发展部 为防止 COVID-19 扩散，美国加州包括旧金山在内多个地区自 3 月 17 日凌晨起实施就地避难(shelter-in-place)令，位于湾区的半导体制造设备供应商泛林半导体(LAM Research)也决定暂时关闭加州厂区。此外，马来西亚宣布 3 月
27、 18-31 日期间特定企业活动暂时停止，这也使得泛林半导体的供应链收到冲击，导致部分零部件无法按期交付。泛林半导体表示，2020 年 3 月底截止的当季财测恐难达成，先前的半导体设备订单也将无法如期出货，其客户包括台积电、英特尔(Intel)、美光(Micron)、三星电子(Samsung Electronics)、SK海力士(SK Hynix)、铠挟(Kioxia)等。4）台积电）台积电 3nm 工艺试生产受疫情影响工艺试生产受疫情影响有所有所推迟推迟 据台媒 4 月初新闻报道，台积电 3nm 工艺总投资高达 1.5 万亿新台币，约合 500 亿美元，原计划 6 月份试产，现预计要延期至
28、10 月份。台积电原计划在 4 月份举行技术论坛会议，公布 3nm 工艺的制程细节，不过因为疫情影响，现已决定将今年第一场举行的北美技术论坛延后至 8 月 24 日。此外，3nm 工艺的试产计划受此影响也将延期，原计划在 6 月份风险试产，但是因为最新疫情的蔓延，半导体装备及安装人员都无法按期完成，试产时间将延期到 10 月份。相应地，台积电南科 18 厂的 3nm 生产线也会顺延一个季度，原本在 10 月份安装设备，预计将推迟至要到 2021 年初。不过台媒表示台积电应该是如原计划在 2022 年量产 3nm 制程。-30%-25%-20%-15%-10%-5%0%5%10%15%20%25
29、%0501001502002502018Q12018Q22018Q32018Q42019Q12019Q22019Q32019Q4营业收入(亿元)同比增速环比增速亿元 7 专用设备专用设备 行业动态研究报告 请参阅最后一页的重要声明 二、二、下游产线进度及招标更新下游产线进度及招标更新 2.1 产线进度：士兰微、积塔产线取得推进 1）积塔半导体积塔半导体：特色工艺生产线特色工艺生产线已已正式投片正式投片，预计，预计 2020 年将为产量爬坡及设备采购高峰年将为产量爬坡及设备采购高峰 2020 年 3 月 30 日，积塔半导体特色工艺生产线于上海临港新片区正式投片。积塔特色工艺生产线建设项目于 2
30、018 年 8 月开工建设，2019 年 12 月设备搬入。虽然受到了突发疫情的影响，但其项目进展并未受到拖累，并按照预定计划成功通线投片。该项目位于临港重装备产业区，总投资 359 亿元，是上海市政府与中国电子信息产业集团合作协议的重要内容，也是其中第一个落地的重大产业项目。根据规划，项目分两期建设，一期项目投资约 89 亿，主体工程为 8 英寸生产厂房；二期项目投资约 270 亿，主体工程为 12 英寸生产厂房。一期项目建成将实现月产能 6 万片的 8 英寸生产线、月产能 5 千片的 6 英寸生产线以及月产能 3 千片的 12 英寸先导生产线；二期项目建成将实现月产能 4.7 万片的 12
31、 英寸生产线。预计 2020年将进入产能爬坡及设备大规模采购阶段。2）士兰微厦门：士兰微厦门：12 英寸特色工艺生产线预计年底通线，工艺设备英寸特色工艺生产线预计年底通线，工艺设备 5、6 月搬入月搬入 据厦门日报报道，士兰微厦门项目负责人介绍，士兰 12 英寸特色工艺半导体芯片制造生产线在建的一期项目厂房已基本完成结构封顶，今年 5 月中旬和 6 月底工艺设备将分二次搬入，预计年底通线。据介绍，该项目于 2 月 20 日复工，复工第一天项目建设现场只有 29 人，经过各方努力，如今已增加到 1500人。目前，FAB（主厂房）、CUB（动力中心）、研发中心、特气站等小栋号及配套食堂、宿舍建筑正
32、在同步推进，进展顺利。2.2 招标更新：长江存储重要更新、华力 12 寸项目有部分更新 1）长江存储长江存储 33-38 批采购批采购：上海精测中标长江存储集成式膜厚量测仪上海精测中标长江存储集成式膜厚量测仪 根据长江存储公布的 2020Q1 内 33-38 批设备采购订单来看，其合计采购刻蚀设备 47 台，中微公司中标 9台，北方华创中标 3 台。当前长江存储一共采购了 253 台刻蚀设备，其中中微公司中标 38 台，包括 7 台接触孔刻蚀、11 台通孔刻蚀设备、10 台介质等离子刻蚀、10 台氧化硅刻蚀，总份额约 15%；北方华创共 9 台（8 台硅槽刻蚀设备，1 台多晶硅等离子蚀刻设备）
33、，份额约 3%此外，北方华创中标 4 台退火设备、3 台成膜设备以及 2 台炉管设备；上海精测中标 3 台量测设备；盛美半导体中标一台清洗机；沈阳拓荆中标一台成膜设备；中科飞测中标 1 台量测设备。2）华力华力 12 英寸先进生产线建设项目：盛美半导体英寸先进生产线建设项目：盛美半导体(上海上海)中标一台清洗设备中标一台清洗设备 2020 年以来，华力 12 英寸先进生产线建设项目进一步采购了一系列清洗、刻蚀、量测等设备，其中盛美半导体(上海)中标 1 台清洗设备，用于 12 英寸集成电路生产企业的机械研磨后清洗设备，满足 28nm 及 14nm以下产品量产及研发需求。8 专用设备专用设备 行
34、业动态研究报告 请参阅最后一页的重要声明 其他：华虹、华天、中芯国际等均有采招更新 三三、半导体设备公司更新、半导体设备公司更新 3.1 北方华创：收购北广科技切入射频领域，推出股权激励计划凝聚职工力量 3 月 19 日，北方华创公告称，全资子公司北京北方华创微电子装备有限公司拟以现金方式收购关联方北京北广科技股份有限公司（简称“北广科技”）持有的射频应用技术相关资产。本次交易的不含税交易价格为 5922万元，含税交易价格为 6397 万元。其收购标的北广科技主要从事射频电源设备、广播电视发射设备、数字电视接收设备、军事通信设备及相关的系统集成项目的研发、生产、销售和服务。射频应用领域中，公司
35、成功研制出从 100W 至 1500KW 等多个功率等级的射频功率源产品并实现销售。公司 3 月 12 日晚发布公告，以 2 月 21 日为授予日，2019 年股票期权与限制性股票激励授予完成。其中向87 名激励对象授予限制性股票 447 万股，向 354 名激励对象授予股票期权 448.50 万份。3.2 中微公司：股权激励覆盖大部分员工，充分调动职工积极性 公司 3 月 18 日晚披露 2020 年限制性股票激励计划草案，拟向激励对象授予 1200 万股限制性股票，约公司股本总额的 2.24%。该计划限制性股票的首次授予价格为 90 元/股。该激励计划首次授予的激励对象总人数为715 人，
36、占公司全部职工人数的 96.49%。同时公司拟向 6 名激励对象授予 81.60 万份股票增值权，包括总经理、副总、财务负责人、董秘等。两公司均对核心管理层、业务负责人、广大职工进行了充分激励，凝聚员工积极性促发展两公司均对核心管理层、业务负责人、广大职工进行了充分激励，凝聚员工积极性促发展：作为北京市首家实施股权激励计划的市属国有控股上市公司，北方华创在 2018 年就曾推出过股权激励计划，完成了对首批核心技术人员和管理人员的股票期权授予。本次北方华创的激励对象既包括董事长、总经理、副总、财务总监等在内的多名管理人员、核心业务负责人，也包括多名核心技术人员，覆盖范围较广，且合计接近 900
37、万股，激励程度也较大；中微本次拟授予 1200 万股，激励对象总人数达到了 715 人，占公司全部职工人数的 96.49%，几乎对所有员工都进行了充分激励；我们认为半导体设备行业最核心的资产就是人员，二者适时推出股权激励方案，有利于充分调动公司核心骨干员工的积极性和创造性、增强公司团队稳定性、凝聚全公司力量，把握本轮国产半导体设备行业发展良机。考核目标兼顾稳定增长和研发投入，核心目的仍是与员工共享公司成长红利：考核目标兼顾稳定增长和研发投入，核心目的仍是与员工共享公司成长红利：北方华创股票期权和限制性股票的绩效考核分三期，考核目标分别是：2020-2022 年营业总收入基于 2018 年年均复
38、合增长率25%，对应绝对值分别为 41.02、51.27、64.09 亿元；2020-2022 年每年 EOE12%，且上述指标都对标企业 75 分位；研发支出占营业总收入比例不低于 8%，2020-2022 年每年专利申请不低于 200 件，极大体现出北方对于研发和专利层面的重视；中微公司股票增值权和限制性股票的考核分四期，业绩考核目标分别为 2019-2020 年累计收入大于等于 38.13 亿、2019-2021 年累计收入大于等于 60.14 亿、2019-2022 年累计收入大于等于 85.92 亿、2019-2023 年累计收入大于等于 116.0 亿。设定这样的考核目标，既考虑到
39、了半导体设备行业的周期性波动，同时目标实现稳定增长，体现了考核目标的科学合理性；除了公司层面的业绩考核外，二者对个人还设置了严 9 专用设备专用设备 行业动态研究报告 请参阅最后一页的重要声明 密的绩效考核体系，能够对激励对象的工作绩效作出较为准确、全面的综合评价；总体看来，基于我们对国内半导体设备行业整理的发展趋势判断和对二者产品竞争力的分析，我们认为二者未来几年的预计收入大概率会超出既定考核目标。我们认为股权激励更多的目的还是增强员工凝聚力、促进公司核心团队稳定性，其激励意义远大于考核意义。3.3 盛美半导体：首台无应力抛光设备完成交付，预计 2020 年收入仍将保持 30%高增速 盛美半
40、导体设备公司于 3 月发布公司新产品：适用于晶圆级先进封装应用(Wafer Level Advance Package)的无应力抛光(Stree-Free-Polish)解决方案。先进封装级无应力抛光（Ultra SFP ap）设计用于解决先进封装中，硅通孔（TSV）和扇出(FOWLP)应用金属平坦化工艺中表层铜层过厚引起晶圆翘曲的问题。盛美半导体同时宣布，在 2019 年第四季度已交付一台先进封装级无应力抛光设备至中国晶圆级封装龙头企业。在 2020 年度这台设备将在先进封装客户端进行测试和验证，我们期待在 2020 年中完成设备的首轮测试验证，并进一步进入客户端量产生产线进行量产验证，并完
41、成客户验收。就经营业绩看，2019 年公司实现营业收入 7.4 亿元，较 2018 年增长 44.1%，其中 Q4 实现营业收入 1.7 亿元，较 2018Q4 同比提升 18.3%；2019 年实现净利润 1.3 亿元，较 2018 年提升 196.0%，其中 Q4 实现净利润 0.3亿元，较 2018Q4 同比提升 83.8%；2019 年整体毛利率为 47.1%，较 2018 年的 46.2%提升 0.9pct，其中 Q4 毛利率为 50.6%。展望 2020 年，公司预计 2020 年营业收入在 9.0-10.4 亿元之间(即 1.3-1.5 亿美元之间)，对应营收增速在20.9%-3
42、9.5%。其中预计核心的 SAPS 产品将实现稳健增长，新的 Ultra C Tahoe、TEBO、ECP AP 和 ECP MAP产品亦将为公司做出重大贡献。目前为止，疫情还没有改变公司今年的展望。四、风险因素四、风险因素 下游客户资本性支出波动较大及行业周期性特点带来的经营风险 10 专用设备专用设备 行业动态研究报告 请参阅最后一页的重要声明 分析师介绍分析师介绍 吕娟：吕娟：中信建投证券研究发展部董事总经理，上海区域总监，高端制造组组长，机械&建材行业首席分析师，复旦大学经济学硕士，法国 EDHEC 商学院金融工程交换生，河海大学机械工程及自动化学士，2007.07-2016.12 曾
43、就职于国泰君安证券研究所任机械首席分析师，2017.01-2019.07 曾就职于方正证券研究所任董事总经理、副所长、机械首席分析师。曾获新财富、金牛、IAMAC、水晶球、第一财经、WIND 最佳分析师第一名。韦钰：韦钰：复旦大学金融硕士，厦门大学财政学学士。2016.07-2019.07 曾就职于国泰君安证券研究所任机械行业分析师，新财富团队核心成员，专注于半导体设备、3C 设备、光伏设备、工程机械、检测设备与服务等领域的研究。研究服务研究服务 北京保险组北京保险组 张博 010-85130905 郭洁 010-85130212 张勇 010-86451312 高思雨 010-8513 刘京
44、昭- 北京公募组北京公募组 李祉瑶 010-85130464 任师蕙 010-85159274 黄杉 010-85156350 李星星 021-68821600 杨济谦 010-86451442 金婷 夏一然 杨洁 010-86451428 社保组社保组 吴桑 010-85159204 张宇 010-86451497 创新业务组创新业务组 高雪 010-86451347 杨曦-85130968 廖成涛 0755-22663051 黄谦 010-86451493 陈基辕 010-65608433 诺敏 010-85130616 上海公募组上海公募组 黄方禅 021-68821615 戴悦放 02
45、1-68821617 翁起帆 021-68821600 范亚楠 021-68821600 薛姣 021-68821600 章政 李绮绮 021-68821867 王定润 021-68801600 深广公募组深广公募组 曹莹 0755-82521369 张苗苗 020-38381071 XU SHUFENG 0755-23953843 程一天 0755-82521369 陈培楷 020-38381989 11 专用设备专用设备 行业动态研究报告 请参阅最后一页的重要声明 评级说明评级说明 以上证指数或者深证综指的涨跌幅为基准。买入：未来 6 个月内相对超出市场表现 15以上；增持：未来 6 个月
46、内相对超出市场表现 515；中性：未来 6 个月内相对市场表现在-55之间；减持：未来 6 个月内相对弱于市场表现 515；卖出：未来 6 个月内相对弱于市场表现 15以上。重要声明重要声明 本报告仅供本公司的客户使用，本公司不会仅因接收人收到本报告而视其为客户。本报告的信息均来源于本公司认为可信的公开资料，但本公司及研究人员对这些信息的准确性和完整性不作任何保证，也不保证本报告所包含的信息或建议在本报告发出后不会发生任何变更，且本报告中的资料、意见和预测均仅反映本报告发布时的资料、意见和预测，可能在随后会作出调整。我们已力求报告内容的客观、公正，但文中的观点、结论和建议仅供参考，不构成投资者
47、在投资、法律、会计或税务等方面的最终操作建议。本公司不就报告中的内容对投资者作出的最终操作建议做任何担保，没有任何形式的分享证券投资收益或者分担证券投资损失的书面或口头承诺。投资者应自主作出投资决策并自行承担投资风险，据本报告做出的任何决策与本公司和本报告作者无关。在法律允许的情况下，本公司及其关联机构可能会持有本报告中提到的公司所发行的证券并进行交易，也可能为这些公司提供或者争取提供投资银行、财务顾问或类似的金融服务。本报告版权仅为本公司所有。未经本公司书面许可，任何机构和/或个人不得以任何形式翻版、复制和发布本报告。任何机构和个人如引用、刊发本报告，须同时注明出处为中信建投证券研究发展部，
48、且不得对本报告进行任何有悖原意的引用、删节和/或修改。本公司具备证券投资咨询业务资格，且本文作者为在中国证券业协会登记注册的证券分析师，以勤勉尽责的职业态度，独立、客观地出具本报告。本报告清晰准确地反映了作者的研究观点。本文作者不曾也将不会因本报告中的具体推荐意见或观点而直接或间接收到任何形式的补偿。股市有风险，入市需谨慎。中信建投证券研究发展部中信建投证券研究发展部 北京北京 上海上海 深圳深圳 东城区朝内大街 2号凯恒中心B座 12 层（邮编：100010）浦东新区浦东南路 528 号上海证券大厦北塔 22 楼 2201 室（邮编：200120）福田区益田路 6003 号荣超商务中心B 座 22 层（邮编：518035）电话：(8610)8513-0588 电话：(8621)6882-1612 电话：（0755）8252-1369 传真：(8610)6560-8446 传真：(8621)6882-1622 传真：（0755）2395-3859
