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集成电路器件用镍钒合金靶材 YST 936-2013.pdf

上传人：la****1 文档编号：52638 上传时间：2023-02-06 格式：PDF 页数：16 大小：1.70MB
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资源描述

1CS77.150.40H62YS中华人民共和国有色金属行业标准YS/T936-2013集成电路器件用镍钒合金靶材Sputtering nickel vanadium alloy target ased in integrated circuit device2013-10-17发布2014-03-01实施中华人民共和国工业和信息化部发布

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