材料现代测试方法电子光学基础第十二章材料表面分析技术Dept.of MSE,CQU1材料现代测试方法材料表面分析技术表面分析的难点但是，由于被分析的深度和侧向范围是如此浅薄和细微，被检测信号来自极小的采样体积，信息强度十分微弱，重复性差，对分析系统的灵敏度要求也很高。所以，直到六十年代前后，随着超高真空和电子技术的突破，才使表面分析技术迅速发展起来。Dept.of MSE,CQU3材料现代测试方法材料表面分析技术本章主要内容12.1俄歇电子能谱分析12.2X射线光电子能谱分析Dept.of MSE,CQU5
