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硅MEMS工艺与设备基础_阮勇尤政编著.pdf

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硅MEMS工艺与设备基础_阮勇尤政编著.pdf

1、五国家重点图出版规或划项国国陈科书图R出编建合微米纳米技术丛书MEMS与微系统系列硅MEMS工艺与设备基础Fundamentals of Silicon-based MEMSProcessing Techniques and Equipments阮勇尤政编著nnnnnnnn北国防名版升National Defense Industry Press国防科技图书出版基金微米纳米技术丛书MEMS与微系统系列硅MMS工艺与设备基础Fundamentals of Silicon-based MEMSProcessing Techniques and Equipments阮勇尤政编著国防。草岛版法北京图书

2、在版编目(CP)数据硅MEMS工艺与设备基础/阮勇，尤政编著.一北京：国防工业出版社，2018.12(微米纳米技术丛书MEMS与微系统系列)ISBN978-7-118-11740-0I硅.阮尤硅基材料-纳米材料-应用-微机电系统V.TH-39中国版本图书馆CP数据核字(2018)第297120号国防草多版法出版发行(北京市海淀区紫竹院南路23号邮政编码100048)天津嘉恒印务有限公司印刷新华书店经售开本71010001/16插页4印张31字数550千字2018年12月第1版第1次印刷印数1一2000册定价160.00元(本书如有印装错误，我社负责调换)国防书店：(010)88540777发行邮购：(010)88540776发行传真：(010)88540755发行业务：(010)88540717