1、GB/T25184-2010X射线光电子能谱仪检定方法1范团本标准规定了X射线光电子能谱仪的检定方法。本标准适用于使用非单色化A1或MgX射线或单色化A!X射线，且带有溅射清洁用离子枪的X射线光电子能谱仪的检定。2规范性引用文件下列文件对于本文件的应用是必不可少的，凡是注日期的引用文件，仅注日期的版本适用于本文件。凡是不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用本文件。GB/T19500一2004X射线光电子能谱分析方法通则GB/T21006一2007表面化学分析X射线光电子能谱仪和俄歇电子能谱仪强度标的线性(1S021270:2004,1DT)GB/T22461一2008表面化学分
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4、lectronspectroscopy-Guide to the use of experimentally determined relative sensitivity factors for the quantitativeanalysis of homogeneous materials)ISO18516:2006表面化学分析AES和XPS横向分辨率的测定(Surface chemical analysis一Auger electron spectroscopy and X-ray photoelectron spectroscopy-Determination of lateral
5、resolution)1SO19319表面化学分析AES和XPS横向分辨率、分析面积和分析器分析面积的测定(Surface chemical analysis-Auger electron spectroscopy and X-ray photoelectron spectroscopy-Determination of lateral resolution,analysis area,and sample area viewed by the analyzer)ISO24237表面化学分析XPS强度标的重复性和一致性(Surface chemical analysis-一X-rayphotoelectron speetroscopy-Repeatability and constaney of intensity seale)3符号和缩略语下列符号和缩略语适用于本文件。1