1、GB/T20522-2006/1EC60747-14-3:2001半导体器件第14-3部分：半导体传感器压力传感器1范围本标准规定了测量绝压、表压和差压的半导体传感器的要求。2规范性引用文件下列文件中的条款通过本标准的引用而成为本标准的条款。凡是注日期的引用文件，其随后所有的修改单（不包括勘误的内容）或修订版均不适用于本标准，然而，鼓励根据本标准达成协议的各方研究是否可使用这些文件的量新版本。凡是不注日期的引用文件，其最新版本适用于本标准。GB/T17573一1998半导体器件分立器件和集成电路第1部分：总则(idt1EC60747-1:1983)GB/T20521一2006半导体器件第14-
2、1部分：半导体传感器一总则和分类3术语和定义、文字符号下列术语和定义、文字符号适用于本标准。3.1通用术语3.1.1半导体压力传感器semiconductor pressure sensors半导休压力传感器将两个压力之间的差转化为电输出量，其中一个可能是参考压力（见3.2.3）。半导体压力传感器包括线性压力传感器和压力开关。线性传感器的电输出量随着压力的变化而线性地改变。开关型传感器的输出量随着增加或诚小的压力差超过特定阀值时，在接通或断开这两个稳定的状态之间切换。在本标准中，电输出量是用电压来描述的，也适用于其他输出量，如GB/T20521一2006中3.8所描述的阻抗、电容、电压比、频调
3、输出或数字输出等输出量。3.1.2传感方式sensing methods3.1.2.1压电式piezoelectric sensing压电器件的基本原理是压电材料受到应力，产生电荷，经电荷放大器放大，转化为与电荷成正比的电压。压电式传感器的主要优点是工作温度范围宽（可达300C),频率范围宽（可达100kHz)。3.1.2.2压阻式piezoresistive sensing压阻的基本原理是当敏感电阻受到应力作用产生形变时，阻值发生变化。敏感电阻可以分成型和型两种。当其位于压力传感器膜片上的合适位置上时，对应变和压力非常敏感。四个合适取向的电阻构成桥式应变计。除了桥式应变计，还可以采用横向电压
4、应变计。它是膜片上的一个单电阻单元，电压抽头位于电阻两端的中心。当电流流过电阻时，没有受到应力作用，则输出电压相等；受到应力作用，则产生电压差输出。1GB/T20522-2006/1EC60747-14-3:20013.2.7系统压力（或共模压力）system pressure(or common-mode pressure)对差压传感器来讲，作用在传感器上但并不被转化的静态压力。3.2.8过压能力over-pressure capability可以施加在传感器上且不会损坏传感器或使传感器失去校正精度的最大压力。3.2.9微分输出电阻differential output resistance
5、在规定压力下输出电压作为输出电流一阶导数。该术语用于基本传感器（没有集成信号放大器）。注：实际上，微分输出电阻可以用输出负载阻抗的微小变化而带来的输出电压的变化与输出电流变化的比值来表示。3.2.10输入电阻input resistance供电电压与供电电流的比值。3.2.11绝缘电阻isolation resistance传感器与被测介质接触的敏感部分与传感器所有电气引出端之间的电阻。注：实际上，当被测介质不导电时（如气体或油），本概念不适用。3.2.12标称的压力范围calibrated pressure range设计的器件的工作范围，在此压力范围内，传感器的转换特性符合规定的极限值。3
6、.2.13零点电压福度系数temperature coefficient of offset voltage零点电压相对温度变化的变化。3.2.14满量程输出温度系数temperature coefficient of full-scale span voltage满量程输出电压相对温度变化的变化。3.2.15灵敏度的温度系数temperature coefficient of the pressure sensitivity压力灵敏度相对温度变化的变化。3.2.16零点输出的最大温度偏差maximum temperature deviation of the offset voltage传感
7、器在规定的温度范围内，零点输出电压与参考温度下的零点输出电压之间的最大偏差。3.2.17满量程输出的最大温度偏差maximum temperature deviation of the full-scale span voltage在规定的温度范围内传感器的满量程输出与传感器在参考温度下的满量程输出之间的最大偏差。3.2.18满刻度压力fl-scale pressure指校准压力范围上限的压力。3.2.19零刻度压力Zer0-scale pressure指校淮压力范围下限的压力。3.2.20零点输出（也叫零压力下的零点输出）null offset(also called zero pressure offset)传感器在零压力时的电输出量，也就是作用在传感器感应膜片两边的压力相等时的输出。