1、1CS71.040.40G04中华人民共和国国家标准GB/T25187-2010/1S015471:2004表面化学分析俄歇电子能谱选择仪器性能参数的表述Surface chemical analysis-Auger electron spectroscopy-Description of selected instrumental performance parameters(IS015471:2004,IDT)2010-09-26发布2011-08-01实施中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局中国国家标准化管理委员会发布GB/T25187-2010/1S015471:2004表面化学分析
2、俄歇电子能谱选择仪器性能参数的表述1范围本标准表述了如何描述一台俄歇电子能谱仪的特定性能。2规范性引用文件下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件，仅注日期的版本适用于本文件。凡是不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本文件。GB/T22461一2008表面化学分析词汇(IS018115:2001,IDT)3术语和定义GB/T22461一2008表面化学分析词汇中所给定的术语和定义适用于本文件。4符号和缩略词AES俄歌电子能谱（也指俄歌电子能谱仪）：FWHM本底以上最大峰强一半处的全宽度，SAM扫描俄歇电子显微镜（也指扫描俄歇电子显微术）：SEM扫描电子显微
3、镜。注：一直以来，AES仅器的动能标参考真空能级，而XPS或AES/XPS联合谱仅则参考费米能级，从费米能级参照转换为真空能级参照是通过从电子动能中扣除谱仪逸出功来实现，一种近似方法是从费米能级参照的动能中扣除4.5eV,这对于大多数实际AES和SAM应用是可行的。5选择仪器性能参数的表述5.1分析方法应简要叙述用于从样品获得信息的方法，并说明在所考虑的系统中其他分析技术的适用性（作为选项）。5.2样品应给出使用该仪器可分析的样品大小和形状。如果样品的大小或形状受限于某些特殊分析模式，例如变角测量、绝缘体测量等，应予以具体说明。5.3系统构成为系统重要分析部件所设计的几何构造及其公差应给予描述。例子：角度的允差常给定为士1”。1
