1、 识别风险，发现价值 请务必阅读末页的免责声明 1 1/1616 Table_Page 行业专题研究|半导体 2020 年 2 月 4 日 证券研究报告 本报告联系人：王昭光 021-60750632 半导体半导体国产替代系列十国产替代系列十 长江存储与合肥长鑫吹响存储长江存储与合肥长鑫吹响存储 IC 国产号角，带动上游产业投资机会国产号角，带动上游产业投资机会 分析师：分析师：许兴军 分析师：分析师：王亮 分析师：分析师：王璐 SAC 执证号：S0260514050002 SAC 执证号：S0260519060001 SFC CE.no:BFS478 SAC 执证号：S02605170800
2、12 021-60750532 021-60750632 021-60750632 请注意，许兴军,王璐并非香港证券及期货事务监察委员会的注册持牌人，不可在香港从事受监管活动。核心观点核心观点：长江存储与合肥长鑫吹响存储长江存储与合肥长鑫吹响存储 IC 国产化号角。国产化号角。长江存储方面，其成立于 2016 年 7 月，专注于 3D NAND Flash领域，整体投资额 240 亿美元，目前 64 层产品已量产。根据集邦咨询数据，2019 年 Q4 长江存储产能在 2 万片/月，到2020年底有望扩产至7万片/月，2023年目标扩产至30万片/月产能，有望成为全球第三大NAND Flash厂
3、商。合肥长鑫方面，其成立于 2016 年 5 月，专注于 DRAM 领域，整体投资预计超过 1500 亿元。目前一期已投入超过 220 亿元，19nm 8Gb DDR4 已实现量产，产能已达到 2 万片/月，预计 2020 年一季度末达 4 万片/月，三期完成后产能为 36 万片/月，有望成为全球第四大 DRAM 厂商。以长江存储为例，其将直接拓宽设备企业的短期和长期成长空间以长江存储为例，其将直接拓宽设备企业的短期和长期成长空间。截至 2019 年 12 月 31 日，中国招标网披露的长江存储项目中标设备数量共 5011 台，占招标设备总数比例为 72.4%。展望未来，若简单假设产能规划的进
4、度与设备中标的进度相一致，则可以大致推算长江存储带来的短期（2020 年）设备订单空间为现有中标数量的约 2.5 倍，长期（2021-2023 年）设备订单空间为每年新增现有中标数量的约 3.7 倍，累计总市场空间可达现有市场空间的 15 倍。以长江存储为例以长江存储为例，目前国产半导体设备企业市占率仍然较低目前国产半导体设备企业市占率仍然较低，业绩弹性较大业绩弹性较大。在合计的中标 1720 台关键设备中，国产半导体设备共中标 106 台，整体市占率为 6.2%，仍然处于较低位置，未来有望超出预期。同时，我们假定 2020 年空间预计变为 2.5 倍，并假定当前国内设备厂商的市占率不变，结合
5、各类设备的平均单价，简单推算可知长江存储给相关设备产业链公司带来了较大的订单以及业绩弹性。以长江存储为例以长江存储为例，国产设备国产设备份额有望份额有望提升，带来订单持续超预期。提升，带来订单持续超预期。从 17 年到 19 年，随着产线建设逐步推进，一方面中标的国产设备企业数量和中标设备种类越来越多，另一方面部分设备企业市场份额也呈现提升态势，展望未来，国产设备市场份额有望进一步扩大，最新 1 月份招标网跟踪数据也显示，中微公司于 2020 年 1 月 2日中标 9 台设备，北方华创于 10 日中标 12 台设备，精测电子于 17 日中标 3 台设备，订单呈现边际加速态势。投资建议：关注长鑫
6、长存上游设备与材料企业。投资建议：关注长鑫长存上游设备与材料企业。我们认为长江存储和合肥长鑫供应链将是 2020 年的重要投资主线，具体标的而言，我们建议关注国内从事半导体设备和材料的优质厂商。半导体设备方面，建议关注北方华创、中微公司（与机械小组联合覆盖）、精测电子（与机械小组联合覆盖）、万业企业、芯源微（与机械小组联合覆盖）。半导体材料方面，建议关注江丰电子、安集科技、硅产业（拟在科创板上市）。风险提示风险提示。长江存储/合肥长鑫招标进度与国产设备中标进度不达预期。相关研究相关研究：半导体国产替代系列八:刻蚀设备：半导体设备国产替代先锋 2019-09-30 半导体国产替代系列七:技术突破
7、加速，光刻胶有望吹响替代主旋律 2019-09-23 识别风险，发现价值 请务必阅读末页的免责声明 2 2/1616 Table_PageText 行业专题研究|半导体 重点公司估值和财务分析表重点公司估值和财务分析表 股票简称股票简称 股票代码股票代码 货币货币 最新最新 最近最近 评级评级 合理价值合理价值 EPS(元元)PE(x)EV/EBITDA(x)ROE(%)收盘价收盘价 报告日期报告日期（元（元/股）股）2019E 2020E 2019E 2020E 2019E 2020E 2019E 2020E 汇顶科技 603160 CNY 304.25 2019/10/24 买入 246.
8、50 4.93 5.96 61.71 51.05 65.07 54.46 35.6 30.1 韦尔股份 603501 CNY 167 2019/11/01 买入 126.00 0.70 2.80 238.57 59.64 102.80 45.99 3.7 13.0 卓胜微 300782 CNY 422.1 2019/10/29 买入 477.28 4.79 7.34 88.12 57.51 81.33 53.16 26.1 28.6 兆易创新 603986 CNY 254.7 2019/11/01 买入 209.72 2.14 3.50 119.02 72.77 109.04 67.87 13
9、.2 17.8 澜起科技 688008 CNY 77.3 2019/11/04 买入 70.57 0.86 1.24 89.88 62.34 93.31 65.96 13.9 17.3 长电科技 600584 CNY 23.62 2019/11/12 买入 18.84 0.29 0.17 81.45 138.94 10.61 8.58 3.6 2.2 闻泰科技 600745 CNY 112.5 2019/11/19 买入 98.00 1.27 2.45 88.58 45.92 84.36 18.4 25.4 中微公司 688012 CNY 150.3 2019/11/26 买入 74.70 0
10、.37 0.51 406.22 294.71 462.01 242.14 5.1 6.7 华天科技 002185 CNY 8.47 2020/01/10 买入 11.73 0.11 0.29 77.00 29.21 15.73 10.74 4.0 9.6 数据来源：Wind、广发证券发展研究中心 备注：表中估值指标按照最新收盘价计算 识别风险，发现价值 请务必阅读末页的免责声明 3 3/1616 Table_PageText 行业专题研究|半导体 目录索引目录索引 一、长江存储与合肥长鑫吹响存储 IC 国产化号角.5(一)长江存储：国产 NAND 存储芯片突破者.5(二)合肥长鑫：国产 DRA
11、M 存储芯片突破者.6 二、关注供应链：以长江存储为例计算设备企业业绩弹性.8(一)长江存储截至 2019 年底的招标数据概览与未来设备总空间推演.8(二)国产半导体设备公司订单弹性初步测算.10(三)国产设备企业份额有望持续提升，未来有望带来订单持续超预期.12 三、投资建议：关注长鑫长存上游设备与材料企业.14 四、风险提示.14 识别风险，发现价值 请务必阅读末页的免责声明 4 4/1616 Table_PageText 行业专题研究|半导体 图表索引图表索引 图 1：长江存储不同阶段技术突破进度.5 图 2：长江存储股权结构.5 图 3：合肥长鑫项目发展历程介绍.7 图 4：合肥长鑫股
12、权结构.7 图 5：合肥长鑫不同阶段技术突破进度.7 图 6：竞争对手技术水平布局.7 图 7：DRAM 产品工艺节点情况.8 表 1：NAND Flash 主流厂商技术路径时间节点.6 表 2：NAND Flash 主流厂商产能对比（千片）.6 表 3：主流 DRAM 厂商产能情况（千片）.7 表 4：长江存储截至 2019 年底招标数据概览.9 表 5：长江存储截至 2019 年底招标数据概览（分厂商，数量单位为台）.11 表 6：长江存储截至 2019 年底招标数据概览（分厂商，续表 5，数量单位为台）.12 表 7：长江存储 2017、2018、2019 年国产半导体设备企业中标数量与
13、份额概览（数量单位为台）.13 识别风险，发现价值 请务必阅读末页的免责声明 5 5/1616 Table_PageText 行业专题研究|半导体 一一、长江存储与合肥长鑫吹响存储长江存储与合肥长鑫吹响存储 IC 国产化号角国产化号角(一一)长江存储：国产长江存储：国产 NAND 存储芯片突破者存储芯片突破者 长江存储科技有限责任公司（“长江存储”）于2016年7月在中国武汉成立，是一家专注于3D NAND闪存芯片设计、生产和销售的IDM存储器公司。长江存储是国家存储器基地项目实施主体公司，由紫光集团旗下紫光控股联合国家集成电路产业投资基金股份有限公司、湖北国芯产业投资基金合伙企业（有限合伙）
14、和湖北省科技投资集团有限公司共同出资。其中紫光控股出资197亿元人民币，占51.04%，从而对长江存储形成控股。2018Q4长江存储成功实现32层NAND量产，2019年9月2日宣布已开始量产基于Xtacking架构（自主研发）的64层256 Gb TLC 3D NAND Flash，以满足固态硬盘、嵌入式存储等主流市场应用需求。与国际主要竞争对手相比，目前长江存储在技术上仍处于落后状态，但已经赶上了市场生产和销售的主流。具体来看，三星、海力士、东芝/西部数据、英特尔均已在2018年下半年实现了96层NAND Flash的量产，但2019年由于产品价格下跌，上述厂商均明显减缓了96层产品的扩产
15、节奏，导致目前市场流通产品仍以64层/72层为主，为长江存储取得一定市场份额提供了机遇。根据长江存储的规划，其未来有望实现128层产品量产，形成一定的市场竞争力。产能规划方面，根据集邦咨询数据，今年产能规划方面，根据集邦咨询数据，今年Q4长江存储产能在长江存储产能在2万片万片/月（月（12英寸），英寸），到到2020年底有望扩产至年底有望扩产至7万片万片/月，接近英特尔的产能水平。更长期规划来看，长江月，接近英特尔的产能水平。更长期规划来看，长江存储目标在存储目标在2023年扩产至年扩产至30万片万片/月产能，达到月产能，达到20%的全球市占率，并且良率也赶上的全球市占率，并且良率也赶上世界主
16、流水准，项目投资总金额高达世界主流水准，项目投资总金额高达240亿美元，若按此规划，届时长江存储有望亿美元，若按此规划，届时长江存储有望成为全球第三大成为全球第三大NAND Flash厂商。厂商。图图1：长江存储不同阶段技术突破进度长江存储不同阶段技术突破进度 图图2：长江存储股权结构长江存储股权结构 数据来源：长江存储官网，广发证券发展研究中心 数据来源：企查查，广发证券发展研究中心 2019年9月2日，长江存储在IC China 2019前夕宣布，公司已开始量产基于Xtacking架构的64层256 Gb TLC 3D NAND闪存2014年10月2015年6月2016年7月2017年7月
17、3D NAND项目正式启动9层3D NAND测试芯片通过电器性能验证32层3D NAND 芯片T/O（设计完成）32层3D NAND测试芯片T/O(设计完毕)32层3D NAND 芯片完成首次验证2017年11月量产基于64层256 Gb TLC 3D NAND闪存2019年2月9L32L64L128L17个月15个月？目标2020年量产湖北紫光国科集成电路大基金湖北科技投资湖北国芯产业投资基金51.04%24.09%12.99%11.88%大基金共持股49.22%长江存储科技控股有限公司长江存储科技有限责任公司100%武汉新芯集成电路制造有限公司湖北国芯产业投资基金武汉长江存储科技服务有限公
18、司紫光长存（上海）集成电路有限公司长江先进存储产业创新中心有限责任公司湖北三维半导体集成制造创新中心100%100%100%34.48%8.62%识别风险，发现价值 请务必阅读末页的免责声明 6 6/1616 Table_PageText 行业专题研究|半导体 表表1：NAND Flash主流厂商技术路径时间节点主流厂商技术路径时间节点 Vendors CY2017 CY2018 CY2019 CY2020 CY2021 1H 2H 1H 2H 1H 2H 1H 2H 1H 2H Sumsung 14nm（MLC/TLC）48L 64L(MLC/TLC)92（TLC/QLC)128(TLC/Q
19、LC)128L(G2 Ver.）SK hynix 14nm（MLC/TLC）48L 72L（TLC)96L（TLC/QLC)128L(TLC/QLC)176L KIOXIA 15nm（MLC/TLC）48L 64L(MLC/TLC)96L(TLC/QLC)128(TLC/QLC)150+L Intel 16nm（MLC/TLC）48L 64L（TLC/QLC)96L（TLC/QLC)144L FG(TLC/QLC)128L RG（TLC/QLC)3D-X Point 长江存储 32L（MCL）64L（TLC）128L（TLC)数据来源：集邦咨询，广发证券发展研究中心 表表2：NAND Flas
20、h主流厂商产能对比（千片）主流厂商产能对比（千片）1Q19 2Q19 3Q19 4Q19E 1Q20E 2Q20E 3Q20E 4Q20E Samsung 465 450 445 440 440 455 465 470 3D of TTL 71%73%74%75%77%80%82%83%SK Hynix 245 235 205 205 200 200 200 200 3D of TTL 53%58%66%66%67%67%67%67%KIOXIA 400 375 340 500 500 500 500 500 3D of TTL 70%71%72%72%77%78%79%80%Micron 1
21、50 150 150 165 165 165 165 165 3D of TTL 87%87%87%82%82%82%82%825 Intel 85 85 85 85 85 85 85 85 YMTC 10 10 10 20 25 35 50 70 Total 1373 1324 1259 1442 1440 1465 1491 1517 数据来源：集邦咨询，广发证券发展研究中心 (二二)合肥合肥长鑫：国产长鑫：国产 DRAM 存储芯片突破者存储芯片突破者 2016年5月长鑫存储技术有限公司成立，专注于DRAM领域（IDM模式）。2019年9月21日总投资约1500亿元的长鑫存储内存芯片自主制
22、造项目在2019世界制造业大会上宣布投产，其与国际主流DRAM产品同步的10纳米级第一代8Gb DDR4首度亮相，一期设计产能每月12万片晶圆，投产的8Gb DDR4通过了多个国内外大客户的验证，2019年底正式交付，另有一款供移动终端使用的低功耗产品也即将投产。同时合肥长鑫预计2021年完成17nm技术研发。对比来看，三星已在2019年开始1ynm制程量产，海力士和美光也将在2020年开始量产1ynm制程，因此合肥长鑫在技术节点上仍落后于业内主流厂商，但是已经赶上了目前市场产品的主流工艺节点（即1xnm）。识别风险，发现价值 请务必阅读末页的免责声明 7 7/1616 Table_PageT
23、ext 行业专题研究|半导体 产能规划方面，合肥长鑫目前共规划有三期，全部完成后产能为产能规划方面，合肥长鑫目前共规划有三期，全部完成后产能为36万片万片/月（月（12英寸），整体投资预计超过英寸），整体投资预计超过1500亿元，其中一期设计产能为亿元，其中一期设计产能为12万片万片/月，目前已投入月，目前已投入超过超过220亿元，产能已达到亿元，产能已达到2万片万片/月，预计月，预计2020年第一季度末达到年第一季度末达到4万片万片/月，后续的月，后续的扩产节奏则将视研发进程、产品良率和市场需求来决定。以三期全部达产后来看，扩产节奏则将视研发进程、产品良率和市场需求来决定。以三期全部达产后来
24、看，我们测算届时合肥长鑫的市占率有望超过我们测算届时合肥长鑫的市占率有望超过10%以上，成为全球第四大以上，成为全球第四大DRAM厂商。厂商。图图3：合肥长鑫项目发展历程介绍合肥长鑫项目发展历程介绍 图图4：合肥长鑫股权结构合肥长鑫股权结构 数据来源：合肥市政府官网，广发证券发展研究中心 数据来源：企查查，广发证券发展研究中心 图图5：合肥长鑫不同阶段技术突破进度合肥长鑫不同阶段技术突破进度 图图6：竞争对手技术水平布局竞争对手技术水平布局 数据来源：半导体行业观察，合肥长鑫官网，广发证券发展研究中心 数据来源：Tech Insights，广发证券发展研究中心 表表3：主流：主流DRAM厂商产
25、能情况（千片）厂商产能情况（千片）Company 1Q19 2Q19 3Q19 4Q19E 1Q20E 2Q20E 3Q20E 4Q20E Samsung 465 460 460 465 470 475 485 495 SK Hynix 345 350 350 350 340 340 340 340 Micron 350 340 338 335 340 345 345 345 Nanya 73 71 70 70 72 73 75 75 Total 1311 1293 1293 1295 1301 1321 1348 1370 数据来源：集邦咨询，广发证券发展研究中心 2017年3月2017年1
26、2月项目总投资预计超2200亿（长鑫12寸存储器制造基地1500亿元）2019年9月一期项目进入投产产能12万片/月预计三期满产产能可达每月36万片长鑫12寸存储器晶圆制造基地项目开工建设厂房建设完毕2017年6月合肥长鑫集成电路有限责任公司 成立2019年8月项目一期已投入资金220亿元2019年9月10纳米级第一代8Gb DDR4首度亮相投入收获合肥产投新兴战略产业发展合伙企业99.75%0.25%合肥长鑫集成电路有限责任公司100%睿力集成电路有限公司100%长鑫存储技术有限公司19.9%合肥市产业投资控股（集团）有限公司2019世界制造业大会与国际主流DRAM产品同步的10纳米级第一代
27、8Gb DDR4首度亮相截止目前研发投入超25亿美金，投入用于研发的晶圆约2万片2019年Q3推出8Gb LPDDR4内存样品2017年10月19nm 12英寸晶圆存储器项目启动推出8Gb DDR4工程样品2018年底10nm8Gb DDR4首度亮相2019年9月收购技术文件(46nm堆栈式DRAM)自主研发20152017201820132014201646/35nm(DDR3)25nm(DDR3/DDR4)20nm(DDR4/LPDDR4/DDR5)1X nm1Y nm42/30nm(DDR3/DDR4)Elpida 45/35nm25nm(DDR3/DDR4)20nm(DDR4/DDR5
28、)1X nm1Y nm1Y nm1X nm25nm(DDR3/DDR4/LPDDR4)21nm(DDR4/LPDDR4/DDR5)44/38 nm10纳米工艺纳米工艺 识别风险，发现价值 请务必阅读末页的免责声明 8 8/1616 Table_PageText 行业专题研究|半导体 图图7：DRAM产品工艺节点情况产品工艺节点情况 数据来源：集邦咨询，广发证券发展研究中心 二、关注二、关注供应链供应链：以长江存储为例计算设备企业业绩弹以长江存储为例计算设备企业业绩弹性性 综合以上对于长江存储和合肥长鑫的分析，我们认为2020年两家公司有望在存储IC行业整体景气度回暖的背景下扩充产能并形成有意义
29、的市场占有率，开启千亿美金级别存储IC市场的国产化替代大进程。其意义有二，一方面有望形成一定的造血能力为后续的研发追赶和产能扩充打下基础，另一方面则将对上游设备和材料领域的国内厂商释放明显的订单空间。对于二级市场投资而言，我们认为上游设备和材料顺应国产替代的大趋势，有我们认为上游设备和材料顺应国产替代的大趋势，有望在长江存储和合肥长鑫取得较好突破，因此投资规模较大的长江存储和合肥长鑫望在长江存储和合肥长鑫取得较好突破，因此投资规模较大的长江存储和合肥长鑫的上游国产供应商值得关注。的上游国产供应商值得关注。本文以中国招标网的长江存储的招标和中标数据为例，简单测算该条产线对国产设备企业的业绩弹性。
30、(一一)长江存储截至长江存储截至 2019 年底的招标数据概览与未来设备总空间推演年底的招标数据概览与未来设备总空间推演 截至截至2019年年12月月31日，中国招标网披露的长江存储项目共招标各类设备日，中国招标网披露的长江存储项目共招标各类设备6923台，其中中标设备数量一共为台，其中中标设备数量一共为5011台，占比台，占比72.4%。中标设备分类别来看，薄膜沉积设备共中标347台（占招标总数81.8%）、测试设备547台（72.4%）、光刻设备23台（82.1%）、过程工艺控制设备293台（83.5%）、刻蚀设备204台（82.6%）、离子注入设备21台（70%）、清洗设备82台（93.
31、2%）、涂布/显影/去胶设备57台（85.1%）、研磨抛光设备44台（66.7%）、氧化/扩散/热处理设备102台（82.9%）。55%32%18%41%55%44%11%33%0%10%20%30%40%50%60%70%80%90%100%20182019E2020F2Xnm以上2Xnm1Xnm1Ynm1Znm 识别风险，发现价值 请务必阅读末页的免责声明 9 9/1616 Table_PageText 行业专题研究|半导体 表表4：长江存储截至长江存储截至2019年底招标数据概览年底招标数据概览 行标签行标签 招标数量（台）招标数量（台）中标数量（台）中标数量（台）中标中标/招标招标 薄
32、膜沉积设备薄膜沉积设备 424 347 81.8%ALCVD 122 104 85.2%CVD 179 152 84.9%PECVD 58 41 70.7%PVD 28 20 71.4%其他沉积设备其他沉积设备 7 3 42.9%外延生长设备外延生长设备 30 27 90.0%泵泵 2583 1746 67.6%材料供应设备材料供应设备 260 185 71.2%测试设备测试设备 756 547 72.4%ATE 371 303 81.7%分选机分选机 95 38 40.0%探针台探针台 290 206 71.0%废气废气/废水处置装置废水处置装置 826 597 72.3%光刻设备光刻设备
33、28 23 82.1%过程工艺控制过程工艺控制 351 293 83.5%电子束检测电子束检测 14 12 85.7%膜厚测量膜厚测量 45 26 57.8%其他测量设备其他测量设备 104 89 85.6%缺陷检测缺陷检测 55 47 85.5%显微镜显微镜 30 26 86.7%线宽测量线宽测量 103 93 90.3%刻蚀设备刻蚀设备 247 204 82.6%硅刻蚀硅刻蚀 72 60 76.9%介质刻蚀介质刻蚀 132 110 88.0%其他刻蚀设备其他刻蚀设备 43 34 77.3%离子注入设备离子注入设备 30 21 70.0%清洗设备清洗设备 88 82 93.2%涂布涂布/显影
34、显影/去胶设备去胶设备 67 57 85.1%温控装置温控装置 960 662 69.0%研磨抛光设备研磨抛光设备 66 44 66.7%氧化氧化/扩散扩散/热处理设备热处理设备 123 102 82.9%自动化自动化 70 61 87.1%其他其他 44 40 90.9%总计总计 6923 5011 72.4%数据来源：中国招标网，广发证券发展研究中心 根据集邦咨询的数据，长江存储2019年底月产能为2万片，同时预计2020年底月产能达7万片，2023年底月产能有望达30万片。因此2020年新增约5万片月产能，是2016年12月-2019年12月的累计产能的2.5倍，2021-2023年平均
35、每年新增7.7万片月产能。若简单假设产能规划的进度与设备中标的进度相一致，则可以大致推算长若简单假设产能规划的进度与设备中标的进度相一致，则可以大致推算长江存储带来的短期（江存储带来的短期（2020年）设备订单空间为现有中标数量的约年）设备订单空间为现有中标数量的约2.5倍，长期倍，长期（2021-2023年）设备订单空间为每年新增现有中标数量的约年）设备订单空间为每年新增现有中标数量的约3.7倍，累计总市场空倍，累计总市场空间可达现有市场空间的间可达现有市场空间的15倍。倍。识别风险，发现价值 请务必阅读末页的免责声明 1010/1616 Table_PageText 行业专题研究|半导体
36、（注：以上测算仅为简单大致的推算，实际上存在多方面影响因素。第一，由于设备中标后的生产组装、以及交付之后的调试均需要几个月时间，因此部分2019年中标的设备实际上未包括在2万片产能中，而是为以后的产能做规划准备；第二，不同设备交付以及调试时间有一定区别，因此不同设备订单释放进度较难把握；第三，产能大小和设备数目对于刻蚀设备、沉积设备等决定产能瓶颈的设备而言存在一一对应的关系，但对于光刻机和涂胶/显影设备等非产能瓶颈设备则并不适用；第四，不同设备生产参数区别较大，其参数会对总台数的测算造成一定影响。但我们认为该推算逻辑仍具备一定的合理性，一方面2020年中标的设备也有部分未包括在当年年底达产的7
37、万片产能中，因此该线性推算有一定合理性；另一方面长江存储项目已经进行三年，即使不同设备参数区别较大，但选择17-19年合计三年的累计中标设备数据在测算空间时也具有一定的代表性。）(二二)国产半导体设备公司订单弹性初步测算国产半导体设备公司订单弹性初步测算 从具体的中标厂商来看，在合计的中标从具体的中标厂商来看，在合计的中标1720台台（薄膜沉积/测试/光刻/过程工艺控制/刻蚀/离子注入/清洗/涂布显影去胶/研磨抛光氧化扩散热处理设备）中，国产半中，国产半导体设备共中标导体设备共中标106台，整体市占率为台，整体市占率为6.2%。分别是（以下百分比数字均为国产设备中标台数/对应的细分领域中标总台
38、数）：刻蚀设备：刻蚀设备：中微公司29台介质刻蚀（26%）、北方华创6台硅刻蚀（10%）、Mattson 2台介质刻蚀（2%）。薄膜沉积设备：薄膜沉积设备：沈阳拓荆4台PECVD（10%）、北方华创3台PVD（15%）。清洗设备：清洗设备：盛美半导体14台（17%）、北方华创2台（2%）。研磨抛光设备：研磨抛光设备：华海清科5台（11%）。过程工艺控制：过程工艺控制：上海睿励2台厚膜测量设备（8%）、深圳中科飞测3台其他测量设备（3%）。氧化氧化/扩散扩散/热处理设备：热处理设备：北方华创33台（32%）、Mattson 2台（2%）。涂布涂布/显影显影/去胶设备：去胶设备：Mattson 7
39、台（12%）。测试设备：测试设备：精测电子5台ATE（2%，子公司武汉精鸿电子技术有限公司中标）。识别风险，发现价值 请务必阅读末页的免责声明 1111/1616 Table_PageText 行业专题研究|半导体 表表5：长江存储截至长江存储截至2019年底招标数据概览（分厂商年底招标数据概览（分厂商，数量单位为台，数量单位为台）设备分类及供应商设备分类及供应商 中标数量中标数量占细分领域占细分领域设备分类及供应商设备分类及供应商 中标数量中标数量占细分领域占细分领域薄膜沉积设备薄膜沉积设备 347 刻蚀设备刻蚀设备 204 ALCVD 104 100%硅刻蚀硅刻蚀 60 100%KOKUS
40、AI 48 46%Lam Research 36 60%Tokyo Electron 22 21%Applied Materials 12 20%Lam Research 20 19%北方华创北方华创 6 10%日立国际电气 12 12%荆蓝（香港）有限公司 4 7%Applied Materials 1 1%Nanometrics Inc 1 2%ASM 1 1%Tokyo Electron 1 2%CVD 152 100%介质刻蚀介质刻蚀 110 100%Tokyo Electron 65 43%Lam Research 59 54%Applied Materials 35 23%中微半导
41、体中微半导体 29 26%Lam Research 31 20%Tokyo Electron 13 12%KOKUSAI 15 10%Applied Materials 5 5%日立国际电气 6 4%Mattson Technology 2 2%PECVD 41 100%荆蓝（香港）有限公司 1 1%Applied Materials 30 73%Oxford Instrument 1 1%Lam Research 5 12%其他刻蚀设备其他刻蚀设备 34 100%沈阳拓荆沈阳拓荆 4 10%Lam Research 20 59%Nextest Systems Corporation 2 5%
42、Screen 8 24%PVD 20 100%Tokyo Electron 6 18%Applied Materials 11 55%离子注入设备离子注入设备 21 Lam Research 6 30%离子注入设备离子注入设备 21 100%北方华创北方华创 3 15%Applied Materials 17 81%其他沉积设备其他沉积设备 3 100%亚舍立科技 3 14%Lam Research 3 100%汉辰科技 1 5%外延生长设备外延生长设备 27 100%氧化氧化/扩散扩散/热处理设备热处理设备 102 Applied Materials 17 63%氧化氧化/扩散扩散/热处理设
43、备热处理设备 102 100%Tokyo Electron 10 37%Tokyo Electron 42 41%光刻设备光刻设备 23 北方华创北方华创 33 32%光刻设备光刻设备 23 100%Applied Materials 9 9%ASML 16 70%KOKUSAI 6 6%CANON 7 30%Tokyo Electron 4 4%研磨抛光设备研磨抛光设备 44 日立国际电气 3 3%研磨抛光设备研磨抛光设备 44 100%志圣工业 2 2%Applied Materials 29 66%Mattson Technology 2 2%disco 10 23%Elemental
44、scientific,Inc.1 1%天津华海清科天津华海清科 5 11%数据来源：中国招标网，广发证券发展研究中心 识别风险，发现价值 请务必阅读末页的免责声明 1212/1616 Table_PageText 行业专题研究|半导体 表表6：长江存储截至长江存储截至2019年底招标数据概览（分厂商，续年底招标数据概览（分厂商，续表表5，数量单位为台，数量单位为台）设备分类及供应商设备分类及供应商 中标数量中标数量占细分领域占细分领域设备分类及供应商设备分类及供应商 中标数量中标数量占细分领域占细分领域涂布涂布/显影显影/去胶设备去胶设备 57 测试设备测试设备 547 涂布涂布/显影显影/去
45、胶设备去胶设备 57 100%ATE 303 100%Tokyo Electron 26 46%Nextest Systems Corporation 160 53%荆蓝（香港）有限公司 14 25%Advantest Corporation 101 33%Mattson Technology 7 12%是德科技 21 7%Gene Landing 6 11%Qualitau Inc 12 4%美商德升 2 4%武汉精鸿电子技术有限公司武汉精鸿电子技术有限公司 5 2%比思科股份有限公司 1 2%Semics 2 1%Screen 1 2%Nextext System Coprporation
46、 1 0%清洗设备清洗设备 82 DI Corporation 1 0%清洗设备清洗设备 82 100%分选机分选机 38 100%Screen 26 32%平田机工株式会社 27 71%盛美半导体盛美半导体 14 17%MIRAE CORPORATION 11 29%Lam Research 14 17%探针台探针台 206 100%Tokyo Electron 9 11%Semics 126 61%Brooks Automation(Germany)GmbH 4 5%东京精密 72 35%清芯科技 3 4%CASCADE 4 2%北方华创北方华创 2 2%Nanometrics 1 0%T
47、okyo Electron 2 2%FORMFACTOR 1 0%台湾艾科斯有限公司 2 2%Hitachi High-Technologies 1 0%ULVAC KOREA,Ltd.2 2%旺矽科技 1 0%家登自动化股份有限公司 2 2%Hugle Electronics 1 1%J.E.T.CO.,LTD.1 1%数据来源：中国招标网，广发证券发展研究中心 对于每台设备的单价，我们根据台积电南京12寸晶圆厂、海力士无锡12寸晶圆厂披露的投资金额/各类设备数据，以及Garnter和东京电子披露的半导体晶圆制造中各类设备价值量计算得到每种半导体设备的大致平均价格为：刻蚀/CVD/PVD等其
48、他沉积设备2500万元/台、清洗设备2000万元/台、氧化扩散热处理设备500万元/台。结合前文2020年空间预计变为2.5倍，并假定当前国内设备厂商的市占率不变，简单估算相关公司2020年的订单空间可能分别为：北方华创约10.9亿元（2018年电子工艺装备营收25.2亿元）、中微公司约18.7亿元（2018年刻蚀设备营收5.7亿元）、盛美半导体约7亿元（2018年营收约5.1亿元）。由此可见长江存储给相关设备产业由此可见长江存储给相关设备产业链公司链公司有望带来有望带来较大的订单以及业绩弹性。较大的订单以及业绩弹性。(三三)国产设备企业份额有望持续提升，未来有望带来订单持续超预期国产设备企业
49、份额有望持续提升，未来有望带来订单持续超预期 按2017、2018、2019三年分年度的中标数据如下：识别风险，发现价值 请务必阅读末页的免责声明 1313/1616 Table_PageText 行业专题研究|半导体 表表7：长江存储长江存储2017、2018、2019年国产半导体设备企业中标数量与份额概览（数量单位为台）年国产半导体设备企业中标数量与份额概览（数量单位为台）2017 年年 2018 年年 2019 年年 设备种类设备种类 数量数量 份额份额 设备种类设备种类 数量数量 份额份额 设备种类设备种类 数量数量 份额份额 薄膜沉积设备薄膜沉积设备 98 薄膜沉积设备薄膜沉积设备
50、37 薄膜沉积设备薄膜沉积设备 212 ALCVD 22 100%ALCVD 15 100%ALCVD 67 100%CVD 39 100%CVD 15 100%CVD 98 100%PECVD 21 100%PECVD 3 100%PECVD 17 100%PVD 6 100%PVD 2 100%沈阳拓荆 4 24%其他沉积设备其他沉积设备 2 100%北方华创 2 100%PVD 12 100%外延生长设备外延生长设备 8 100%外延生长设备外延生长设备 2 100%北方华创 1 8%测试设备测试设备 52 测试设备测试设备 81 其他沉积设备其他沉积设备 1 100%ATE 29 10