1、YS/T1129-2016钨钛合金靶材1范围本标准规定了溅射用钨钛合金靶坯的要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、贮：存、质量证明书及订货单（或合同）等内容。本标准适用于钨钛合金溅射靶材加工用粑坯。2规范性引用文件下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件，仅注日期的版本适用于本文件。凡是不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本文件。GB/T3850致密烧结金属材料与硬质合金密度测定方法GB/T4324(所有部分)钨化学分析方法GB/T6394金属平均品粒度测定方法GB/T8651金属板材超声板波探伤方法GB/T14265金属材料中氢、氧、氮、碳和硫分析
2、方法通则YS/T901高纯钨化学分析方法痕量杂质元素的测定辉光放电质谱法3要求3.1分类3.1.1产品按外形分圆形、矩形。3.1.2产品按化学成分分为WTi-99.9、WTi-99.95、WTi-99.99、WTi-99.995、WTi-99.999。3.2化学成分产品的化学成分应符合表1的规定，其中钨钛含量为100%减去表中非气体杂质实测含量总和。表1化学成分牌号元素WTi-99.9WTi-99.95WTi-99.99WTi-99.995WTi-99.999鹤钛含量（质量分数）/%，不小于99.999.9599.9999.99599.999合金元素含量W余量(质量分数)/%Ti5-15Al2015103非气体杂质含量Ca102(质量分数)/%(10-6),不大于Cr公108Cu5
