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GB50809-2012：硅集成电路芯片工厂设计规范.pdf

上传人：sc****y 文档编号：148661 上传时间：2023-03-02 格式：PDF 页数：95 大小：9.29MB
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资源描述

中华人民共和国国家标准硅集成电路芯片工厂设计规范Code for design of silicon integrated circuits wafer fabGB50809-2012主编部门：中华人民共和国工业和信息化部批准部门：中华人民共和国住房和城乡建设部施行日期：2012年12月1日中国计划出版社2012北京

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