中华人民共和国国家标准微电子生产设备安装工程施工及验收规范Code for construction and acceptance of micro-electronicsmanufacturing equipment installation engineeringGB50467-2008主编部门：中华人民共和国工业和信息化部批准部门：中华人民共和国住房和城乡建设部施行日期：2009年7月1日2009北京信息产业电子第十一设计研究院有限公司北京七星华创电子股份有限公司江南大学主要起草人：王开源邓顺志严军蒋迪宝晁宇晴沈贤平王兴旺于宗光杨光明李骥王烟文2
