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微电子机械系统力学性能及尺寸效应_刘凯韩光平著.pdf

上传人:sc****y 文档编号:2316877 上传时间:2023-05-06 格式:PDF 页数:222 大小:49.52MB
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微电子机械系统力学性能及尺寸效应刘凯韩光平著】机械工业出版社CHINA MACHINE PRESS微电子机械系统力学性能及尺寸效应刘凯韩光平著机械工业出版社

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