1、GB/T38867-2020表1技术要求项目光纤用半导体用四氧化硅(SC,)纯度（体积分数）/10？99.999.99三氣氢硅(SiHC,)含量（体积分数）1040025二氧硅烷(SiH,C)含量（体积分数）1040025甲基二氯硅烷(SiC,CH,)含量（体积分数）/10-20050(硼十铝)(B+AD含量/(gkg)0.10(辞十砷)(P十As)含量/(g/kg)0.30嫁(Ga)含量/(g/kg)一0.50镜(Sb)含量/(ugkg)一0.50铟(In)含量/(g/kg)0.50钙(Ca)含量/(g/kg)1.000.50格(Cr)含量/(g/kg)1.000.50铁(Fc)含量/八g/
2、kg)1.000.50金属元素及钾(K)含量/(g/kg)1.000.50其他元素含量钠(Na)含量/(g/kg)1.000.50镍(NiD含量/(g/kg)1.000.50相(Mo)含量/(ugkg)1.000.50话(Mn)含量/八g/kg)1.000.50闹(Cu)含量/八g/g)1.000.50镉(Cd)含量/(g/kg)1.000.50结(Co)含量/(g/kg)1.000.50锌(Z)含量/(g/kg)1.000.50机(V)含量/(g/kg)1.000.50表2相对透过率技术要求红外吸收蜂位置/cm对应的物质或官能团相对透过率/%36664SiCl OH9831003020芳香-CH9929702925脂肪族-CH9828602830HCI982338土4CO:9822954Si(NCO)982257士4SiHCl9820234Si(CH)Ch9815404Siz OCL98
