1、中华人民共和国建筑工业行业标准层流洁净工作台检验标准JG/T19-1999Test standard for laminar clean bench本标准主要适用于层流洁净工作台。其他局部净化设备可参照本标准进行检验。1术语1.1局部净化设备是使在特定的局部空间的空气含尘浓度达到每升空气中0.5m的粒子数3.5粒的空气洁净度等级的设备称局部净化设备。它是由高效空气过滤器等组成的净化机组，如洁净工作台、洁净干燥箱、洁净层流罩、洁净自净器等。1.2气溶胶是由悬浮在气体中的固体或液体微粒所组成的悬浮体系。2技术要求2.1检漏洁净工作台安装后必须经受气溶胶的泄漏检验和诱入检验。按照3.1.1.2进行试
2、验时，缝隙下游侧浓度超过上游侧浓度的0.01%，则视为有明显泄漏。2.2操作区洁净度按照3.2进行测试，其洁净度0.5m粒子必须3.5粒/L,不准许有5m粒子.2.3风速按照3.3进行测试时，操作区平均风速应在0.30.6m/s范围内，如有特殊要求，由用户与厂家另行商订。每个测点应在平均风速的士20%范围内。2.4噪声按3.5进行测试，噪声不得超过65dB(A声级)，如有特殊要求由用户与厂家商订。2.5振动按3.6进行测试，操作台三个轴向(x、y、z)振幅均不得超过5m。如有特殊要求，用户与厂家另行商订。2.6照明按3.7进行测试，操作台面平均照度不得小于3001x。光线应均匀、柔和，避免眩光
3、。如有特殊要求由用户与厂家另行商订。2.7构造2.7.1洁净工作台板壁表面不得生锈和剥落。对操作台面有耐酸耐腐蚀要求时，应采用耐酸材料或不锈钢材料。2.7,2所配用的高效空气过滤器应是经测试合格的。在一般空气环境中使用不应变质和腐蚀。2.7.3高效空气过滤器的安装密封垫，要注意选用不易老化的材料，以免引起泄漏，并应易于维护和更换。中华人民共和国建设部1999-06-04批准1999-06-04实施1JG/T19-1999从外椰诱入的气溶胶泄漏的气溶胶从缝象中诱入的气溶胶图1气溶胶泄漏和诱入到水平层流洁净工作台的示意图淮漏的气溶胶从缝腺诱入的气溶胶从外部诱入的气溶胶从外部诱入的气溶胶图2气溶胶泄漏和诱入到垂直层流洁净工作台的示意图3.1.2诱入测试3.1.2.1仪器与3.1.1.1相同。3.1.2.2测试方法在洁净工作台箱体连结缝外侧和操作口边缘外侧所毗连的周围环境中，发DOP气溶胶（冷烟）然后用采样器在连结缝内侧和操作口边缘内侧巡检。a.缝隙诱入测试水平层流洁净工作台，应在距操作区壁面3cm,距接缝5cm的下游处；而垂直层流洁净工作台，应在距操作口上挡板内表面5cm,距高效空气过滤器出口或整流格板表面10cm处进行巡检。当检漏仪(光度计)的读值超过台外读值的0.01%时，则确认有气溶胶诱人（见图3、图4）。必须进行堵漏。3
