1、高真空的获得和检漏 赵媛 PB06210263 10系实验目的:1学习用机械泵,扩散泵机组获得高真空。2学会用静态升压法检漏。实验原理:(见预习报告) 实验装置如下图:实验步骤:1. 开总电源,低阀拉出,开机械泵,抽钟罩。2. 打开复合真空计电源,接通热偶计,对钟罩内抽至1.3Pa。3. 接通扩散泵冷却水,低阀推进抽系统,开扩散泵加热,40分钟后开高阀。4. 待真空度超过0.13Pa时,开电离计,低真空转至扩散泵前级测量。5. 抽至电离计指针基本不动时(一定要在103量级)记录此时电离计的示数,然后对电离计规管除气(5分钟)。6. 开关转至“烘烤”,烘烤10分钟,烘烤完毕,“烘烤”转至“关”。
2、7. 抽至极限真空度,记录此时电离计和V2的示数。关“高阀”,放气,每隔5分钟记录电离计P值,直至电离计示数变化不大。立即关闭电离计,关扩散泵。8. 待扩散泵冷却至不烫手(约四十分钟),将低阀拉出,关机械泵。9. 关总电源,切断冷却水。数据记录及处理分析:1 步骤5中记录的真空系统的压强,电离计的示数为P12.4103Pa;步骤7中抽至极限真空度时,V2示数PV2=0.6Pa 电离计的示数P2=1.7103 Pa;经除气烘烤后极限真空度P由2.4103Pa下降到1.7103 Pa,是因为“除气”步骤除去了附着在电离规管中灯丝上的气体分子,“烘烤”步骤使附着在真空钟罩壁上的气体分子更活跃,脱离钟
3、罩壁,被机械泵抽出,冷却后真空度减小。2 静态升压法测得的Pt数据如下表: t/s05101520253035P/pa0.00170.00660.0170.0190.0250.0310.0370.0444045505560657075800.0490.0560.0620.0690.0740.0820.0880.0940.12由上表得出的P-t曲线如下:取中间一段的点线性拟合,如下:Equationy = a + b*xAdj. R-Square0.999483368327223 Value Standard ErrorPIntercept-3.6813186813188E-44.0173474
4、7059802E-4PSlope 0.001256043956043968.24342307527524E-6由图线可知系统只有漏气,无放气。斜率dp/dt(0.00128.2 E-6)Pa/sQ漏=V*dp/dt(不知道容器的容积,无法计算漏率)实验注意事项:1.本实验虽然操作比较简单,但实验花费时间很长,所以在做实验前必须做好充分准备,熟悉各仪器的使用及操作步骤,否则一旦出现错误,则重做花费时间。2.操作时要严格按照步骤中规定的时间,不能操之过急。对扩散泵加热时一定要在40分钟后才能打开高阀,否则达不到所要的真空度。思 考 题(1):为什么测量完放气曲线后立即关闭电离计?答:测量完放气曲线
5、后,容器内压强10-1pa真空度比较高,而电离计的工作范围10-110-5pa,达到上限,若不立即关闭电离计,由于压强较高,气体浓度较大,极容易电离形成浓度比较大的电流,从而会损坏电子仪表,因而测量完毕后应立即关闭电离计。(2):为什么扩散泵和机械泵之间要加储气罐?答:扩散泵的工作原理是由沸腾的油分子带动钟罩内的气体分子运动,扩散到气压较低的储气罐中,油滴经冷却水冷却,变成液态回流到扩散泵中,气体分子经储气罐被机械泵抽出。储气罐起到了冷凝和缓冲的作用,它给提供了一个低压环境,能防止气体反冲进入扩散泵。(3)为什么关闭高阀和扩散泵以后不能立即关闭机械泵?答:因为关闭高阀和扩散泵后,油扩散泵内部的温度很高,仍然有大量的气体油存在,此时立即关闭机械泵,就会有氧气进入,从而把油氧化,引起事故。