1、IDFIDF工序缺陷判断及质量数据分析工序缺陷判断及质量数据分析 SYE QE 08.02.25 培训目的 了解IDF工序现阶段质量监控点、主要质量问题、缺陷形态、可能产生原因 了解IDF工序主要质量数据和指标 了解IDF工序质量数据分析、改善及效果评估 一、IDF工序主要质量问题、缺陷形态、可能产生原因、现阶段质量监控点 纲要：1、IDF工序现阶段主要质量监控点及监控参数；2、流程查核；一、IDF工序主要质量问题、缺陷形态、可能产生原因、现阶段质量监控点 1、IDF工序现阶段主要质量监控点：工序现阶段主要质量监控点：具体见附件 一、IDF工序主要质量问题、缺陷形态、可能产生原因、现阶段质量监
2、控点 2、主要参数及质量监控点：、主要参数及质量监控点：前处理：1、速度（2.0-2.7m/min）2、烘干温度（45-55）3、微蚀量：0.8-1.6um 贴膜：1、贴膜温度/压力（11010、kg/cm2）2、预热温度（805）、贴膜速度：电镀板（2.0-2.m/min），其它（3.0-3.m/min）3、贴膜后静止时间（15-1440min）曝光：1、曝光级数（干膜：7-8、湿膜：6.5-7.5、MASK2:4-5）、能量均匀性（10%）、真空度（25-30inHg）2、曝光时间（15s）、温湿度（201、46-54%RH）、曝光后静止时间（15-1440min）一、IDF工序主要质量问
3、题、缺陷形态、可能产生原因、现阶段质量监控点 湿油：1、速度（2.0-3.5m/min）2、油墨粘度（40-62sec）3、膜厚：9-13um 4、洁净度：涂膜室1000 grade 菲林制作及使用：1、菲林剖出至使用最小时间：4H 2、保护膜贴膜速度：1.5-2刻度 3、存放条件：温湿度（201、46-54%RH）一、IDF工序主要质量问题、缺陷形态、可能产生原因、现阶段质量监控点 3、工序查核、工序查核 （1）日常查核 （2）专项查核 二、IDF工序主要质量指标 纲要：1、报废率 2、PONC 3、一次合格率 4、RTV 5、重点客户/型号 二、IDF工序主要质量指标 工序主要质量数据：质
4、量控制项目 目标 数据来源 频率 主要影响缺陷 一次合格率一次合格率 65%、77%、80%、85%ERP ERP日报、周报、月报 开路缺口、曝光不良、残铜、凸起 报废率报废率 普通板 4.3 MRB ERP日报、周报、月报 AOI开路缺口、短路、擦花 HDI板 4.3 PONC 185万/月 QE PONC月报 膜碎开路缺口、短路、擦花 ET合格率合格率 内短 1.1%ET ERP日报、月报 开路缺口、短路、残铜 内开 0.3 大点 0.3 客户投诉客户投诉DPPM 内层开路 20 QS QS月报表 内层开路缺口、短路 内层短路 10 二、IDF工序主要质量指标 1、普通板及、普通板及HDI
5、板报废率：板报废率：A、曝光房每周普通板报废率趋势：、曝光房每周普通板报废率趋势：缺陷 目标 04/01-07 04/08-14 04/15-21 04/22-28 04/29-05 合格面积ft2 37684.56 377048.3 401362.3 406714.9 382405.7 开路缺口报废面积 ft2 5223.56 6705.94 6520.66 5816.78 7362.13 开路缺口报废率%1.75 1.42 1.78 1.62 1.43 1.93 曝光不良报废面积 ft2 684.9 916.85 522.93 341.94 713.31 曝光不良报废率%0.15 0.19
6、 0.24 0.13 0.08 0.19 重合度报废面积 ft2 66.02 85.05 48.77 196.24 75.51 重合度报废率%0.05 0.02 0.02 0.01 0.05 0.02 二、IDF工序主要质量指标 曝光房每周普通板报废率趋势：报废率是工序最重要的质量指标！00.20.40.60.811.21.41.61.8204/01-04/0704/08-04/1404/15-04-2104/22-04/2804/29-05-05开路缺口曝光不良重合度目标值目标值目标值 二、IDF工序主要质量指标 B、DES每周普通板报废率趋势每周普通板报废率趋势：缺陷 目标 04/01-0
7、7 04/08-14 04/15-21 04/22-28 04/29-05 合格面积ft2 37684.56 377048.3 401362.3 406714.9 382405.7 AOI残铜报废面积 ft2 294.16 182.65 141.14 163.61 180.49 AOI残铜报废率%0.05 0.08 0.05 0.04 0.04 0.05 蚀刻过度报废面积 ft2 68.87 126.88 93.86 209.33 72.55 蚀刻过度报废率%0.03 0.02 0.03 0.02 0.05 0.02 蚀刻不净报废面积 ft2 93.16 75.15 93.75 195.02
8、213.32 蚀刻不净报废率%0.05 0.03 0.02 0.02 0.05 0.06 叠/卡板报废面积 ft2 153.77 204.91 104.76 176.51 150.5 叠/卡板报废率%0.05 0.04 0.05 0.03 0.04 0.04 阻值超标报废面积 ft2 25.22 4.31 9.16 7.21 11.99 阻值超标报废率%0.02 0.02 0.003 0.01 0.01 0.01 特阻抗不合格报废面积 ft2 1.26 2.15 11.28 6.12 6.12 特性阻抗不合格报废率%0.01 0 0 0.01 0.01 0.01 二、IDF工序主要质量指标 D
9、ES每周普通板报废率趋势：报废率是工序最重要的质量指标！00.010.020.030.040.050.060.070.080.090.104/01-04/0704/08-04/1404/15-04-2104/22-04/2804/29-05-05AOI残铜蚀刻过度蚀刻不净叠/卡板阻值超标特性阻抗不合格 二、IDF工序主要质量指标 C、AOI每周普通板报废率趋势：每周普通板报废率趋势：缺陷 目标 04/01-07 04/08-14 04/15-21 04/22-28 04/29-05 内层余数合格面积 ft2 37684.56 377048.3 401362.3 406714.9 382405.
10、7 内层余数报废面积 ft2 947.11 684.4 893.32 630.24 826.98 内层余数报废率%0.2 0.26 0.17 0.22 0.15 0.22 普通板RTV合格面积 ft2 109664.75 118578.1 106612.66 111578.19 91139.66 内层短路报废面积 ft2 1151.16 1182.96 1039.43 1043.58 845.45 内层短路报废率%1.1 1.03 0.98 0.96 0.92 0.91 内层开路报废面积 ft2 315.58 342.75 259.11 355.33 253.01 内层开路报废率%0.3 0.
11、28 0.28 0.24 0.31 0.27 大点内短报废面积 ft2 470.68 464.88 355.18 351.66 285.59 大点内短报废率%0.3 0.42 0.38 0.33 0.31 0.31 二、IDF工序主要质量指标 AOI每周普通板报废率趋势：报废率是工序最重要的质量指标！00.20.40.60.811.204/01-04/0704/08-04/1404/15-04-2104/22-04/2804/29-05-05内层余数内层短路内层开路大点内短目标值目标值 二、IDF工序主要质量指标 D、曝光房每周、曝光房每周HDI报废率趋势：报废率趋势：缺陷 目标 04/01-
12、07 04/08-14 04/15-21 04/22-28 04/29-05 T/C合格面面ft2 23976.2 16460.13 18264.88 16928.6 13068.4 T/C开路缺口报废面积 ft2 96.75 100.5 52.33 69.84 55.65 T/C开路缺口报废率%0.2 0.4 0.6 0.28 0.41 0.42 T/C曝光不良报废面积 ft2 56.88 29.08 35.38 14.1 20.85 T/C曝光不良报废率%0.03 0.24 0.17 0.19 0.08 0.16 电镀子板合格面面ft2 21183.79 16371.21 17937.40
13、 17177.91 12757.86 电镀子开路缺口报废面积 ft2 218.09 307.01 382.89 527.93 258.14 电镀子开路缺口报废率%1.4 1.03 1.88 2.13 3.07 2.02 电镀子曝光不良报废面积 ft2 13.98 40.74 42.54 21.03 9.97 电镀子曝光不良报废率%0.15 0.07 0.25 0.24 0.12 0.08 电镀子崩孔报废面积 ft2 39.2 69.09 52.75 50.69 26.6 电镀子崩孔报废率%0.1 0.19 0.42 0.29 0.30 0.21 二、IDF工序主要质量指标 曝光房每周HDI报废
14、率趋势：报废率是工序最重要的质量指标！00.511.522.5304/01-04/0704/08-04/1404/15-04-2104/22-04/2804/29-05-05T/C开路缺口T/C曝光不良电镀子板开路缺口电镀子板曝光不良 二、IDF工序主要质量指标 E、DES每周每周HDI板报废率趋势板报废率趋势：缺陷 目标 04/01-07 04/08-14 04/15-21 04/22-28 04/29-05 T/C合格面积ft2 23976.2 16460.13 18264.88 16928.6 13068.4 T/CAOI残铜报废面积 ft2 9.7 6.99 0.22 1.03 0.9
15、6 T/C AOI残铜报废率%0.03 0.04 0.04 0 0.01 0.01 T/C蚀刻过度报废面积 ft2 8.71 2.24 20.22 2.21 2.35 T/C蚀刻过度报废率%0.01 0.04 0.01 0.11 0.01 0.02 T/C蚀刻不净报废面积 ft2 0.63 2.37 2.71 0.91 0.89 T/C蚀刻不净报废率%0.02 0 0.01 0.01 0.01 0.01 电镀子板合格面积ft2 21183.79 16371.21 17937.40 17177.91 12757.86 电镀子板AOI残铜报废面积 ft2 19.02 10.38 15.97 19.
16、58 16.45 电镀子板AOI残铜报废率%0.1 0.06 0 0.03 0.11 0.13 电镀子板蚀刻过度报废面积 ft2 12.53 0.61 5.02 6.57 0 电镀子板蚀刻过度报废率%0.05 0.06 0 0.03 0.04 0 电镀子板蚀刻不净报废面积 ft2 6.24 8.69 4.99 7.92 23.10 电镀子板蚀刻不净报废率%0.20 0.03 0.05 0.03 0.05 0.18 二、IDF工序主要质量指标 DES每周HDI报废率趋势：报废率是工序最重要的质量指标！00.050.10.150.204/01-04/0704/08-04/1404/15-04-2104/22-04/2804/29-05-05T/CAOI残铜T/C蚀刻过度T/C蚀刻不净电镀子板AOI残铜 二、IDF工序主要质量指标 F、AOI每周每周HDI板报废率趋势：板报废率趋势：缺陷 目标 04/01-07 04/08-14 04/15-21 04/22-28 04/29-05 HDI板RTV合格面积 ft2 109664.75 118578.1 106612.66 111578.19
