收藏 分享(赏)
下载资源 加入VIP,免费下载

用于先进集成电路光刻工艺综合评估的图形规范 GBT 29844-2013.pdf

上传人：g****t 文档编号：68867 上传时间：2023-02-14 格式：PDF 页数：11 大小：1.11MB
下载 相关 举报
用于先进集成电路光刻工艺综合评估的图形规范 GBT 29844-2013.pdf_第1页
第1页 / 共11页
用于先进集成电路光刻工艺综合评估的图形规范 GBT 29844-2013.pdf_第2页
第2页 / 共11页
用于先进集成电路光刻工艺综合评估的图形规范 GBT 29844-2013.pdf_第3页
第3页 / 共11页
用于先进集成电路光刻工艺综合评估的图形规范 GBT 29844-2013.pdf_第4页
第4页 / 共11页
用于先进集成电路光刻工艺综合评估的图形规范 GBT 29844-2013.pdf_第5页
第5页 / 共11页
用于先进集成电路光刻工艺综合评估的图形规范 GBT 29844-2013.pdf_第6页
第6页 / 共11页
亲，该文档总共11页，到这儿已超出免费预览范围，如果喜欢就下载吧！
资源描述

GB/T29844-2013前言本标准按照GB/T1.1-2009给出的规则起草。请注意本文件的某些内容可能涉及专利。本文件的发布机构不承担识别这些专利的责任。本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC203)提出并归口。本标准起草单位：上海华虹NEC电子有限公司。本标准主要起草人：王雷、伍强、朱骏、陈宝钦。I

展开阅读全文
相关资源
猜你喜欢
相关搜索

当前位置：首页 > 专业资料 > 房产建筑

copyright@ 2008-2023 wnwk.com网站版权所有

经营许可证编号:浙ICP备2024059924号-2