电子工业用气体锗烷 GBT 31987-2015.pdf

GB/T31987-2015前言本标准按照GB/T1.1一2009给出的规则起草。请注意本文件的某些内容可能涉及专利。本文件的发布机构不承担识别这些专利的责任。本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC203)提出并归口。本标准起草单位：上海华爱色谱分析技术有限公司、佛山市华特气体有限公司、中吴光明化工研究设计院有限公司、国家化学工业气体产品质量监督检验中心（福建）、西南化工研究设计院有限公司。本标准丰要起草人：方华、裴友宏、郭秀丽、林宇巍、陈熔、周鹏云。