GB/T31986-2015前言本标准按照GB/T1.1一2009给出的规则起草。请注意本文件的某些内容可能涉及专利。本文件的发布机构不承担识别这些专利的责任。本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/T203)提出并归口。本标准起草单位：国家化学工业气体产品质量监督检验中心（福建）、渐江省化工研究院有限公司、佛山市华特气体有限公司、苏州金宏气体股份有限公司、上海华爱色谱分析技术有限公司、中吴光明化工研究设计院有限公司、四川中测标物科技有限公司、天津长芦华信化工股份有限公司、西南化工研究设计院有限公司。本标准主要起草人：林宇巍、陈熔、史婉君、方路、廖恒易、金向华、孙猛、方华、孙福楠、方正、崔学文、周鹏云。
