1、GB/T29850-2013光伏电池用硅材料补偿度测量方法1范围本标准规定了光伏电池用硅材料补偿度的测量和分析方法。本标准适用于光伏电池用非摻杂硅材料补偿度的测量和分析。2规范性引用文件下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件,仅注日期的版本适用于本文件。凡是不注日期的引用文件,其最新版本(包括所有的修改单)适用于本文件。GB/T4326非本征半导体单品霍尔迁移率和霍尔系数测量方法GB/T14264半导体材料术语GB/T24581低温傅立叶变换红外光谱法测量硅单晶中、V族杂质含量的测试方法GB/T29057用区熔拉品法和光谱分析法评价多品硅棒的规程3术语和定义GB/T1426
2、4界定的术语和定义适用于本文件4方法原理利用载流子浓度与温度变化关系的电中性方程,对(P)一T关系曲线进行计算机拟合分析,从而得到补偿度。电中性方程(以N型样品为例)如式(1)所示:n(m+N)=exp-号n*(1)Np-NA-n gA其中V计算方法见式(2):N:=22xm kT)zh2(2)电离化杂质浓度关系见式(3):t300 ND-NA(3)由式(1)、式(2)、式(3)利用最小二乘法原理,并适当调整g、m。、ND、NA、E,5个量作数据拟合,得到补偿度的表达式见式(4)、式(5):K=ND/NA(P)型(4)KN=NA/ND(N)型*(5)根据GB/T4326,对样品作变温霍尔测量,由式(6)计算测试数据,得到n一T-关系曲线。n=y/eRg444*4(6)式(1)式(6)中:一载流子浓度,单位为每立方厘米(cm-3):N。一受主杂质浓度,atomscm:1