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微机电系统(MEMS)技术 MEMS谐振敏感元件非线性振动测试方法 GBT 34898-2017.pdf

上传人:la****1 文档编号:72032 上传时间:2023-02-14 格式:PDF 页数:13 大小:1.21MB
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资源描述

GB/T34898-2017目次前言】范围2规范性引用文件3术语和定义4敏感元件非线性振动测试特性参数5测试方法及其选用原则25.1光学测试法25.2电学测试法426敏感元件非线性振动幅频响应和相频响应测试方法26】光学测试方法26.2电学测试方法37敏感元件非线性振动频率响应弯曲系数测试方法48敏感元件非线性跳跃振幅阈值测试方法59非线性振动引起的敏感元件频率偏移测试方法59】自激闭环系统、锁相闭环系统和锁幅闭环系统的频率偏移59.2间歌激励闭环系统的频率偏移5附录A(规范性附录)敏感元件非线性振动数学模型和弯曲系数6附录B(规范性附录)敏感元件频率响应非线性跳跃9附录C(规节性附录)非线性振动引起的敏感元件的频率偏移10

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