1、March 2012 Mars 2012 IEC 62047-9(First edition 2011)Semiconductor devices Micro-electromechanical devices Part 9:Wafer to wafer bonding strength measurement for MEMS CEI 62047-9(Premire dition 2011)Dispositifs semiconducteurs Dispositifs microlectromcaniques Partie 9:Mesure de la rsistance de collag
2、e de deux plaquettes pour les MEMS C O R R I G E N D U M 1 3.3.1 General Replace“as shown in Annex B”by“as shown in Annex A.”Figure 2 Replace the word“clacking”by“cracking”and the word“clacked”by“cracked”in the Key to this figure.3.4.1 General Renumber Equation(3)to Equation(2).Renumber the existing
3、 Equations(4)to(7)of the publication accordingly.3.4.3 Procedure Replace“Equation(3)”by“Equation(2)”in item e)of this subclause.3.4.4 Expression of results Replace“Equation(3)”by“Equation(2)”.Replace“Equation(4)”by“Equation(3)”.Replace“Equation(5)”by“Equation(4)”.3.7.1 General Replace“Equation(6)”by
4、“Equation(5)”in the first paragraph.3.3.1 Gnralits Remplacer“comme cela est reprsent lAnnexe B”par“comme cela est reprsent lAnnexe A”.Figure 2 Cette correction ne concerne que le texte anglais.3.4.1 Gnralits Renumroter lEquation(3)Equation(2).Renumroter les Equations(4)(7)existantes de cette publica
5、tion en consquence.3.4.3 Procdure Remplacer“lquation(3)”par“lquation(2)”au point e)de ce paragraphe.3.4.4 Expression des rsultats Remplacer“lquation(3)”par“lquation(2)”.Remplacer“lquation(4)”par“lquation(3)”.Remplacer“lquation(5)”par“lquation(4)”.3.7.1 Gnralits Remplacer“lquation(6)”par“lquation(5)”
6、au premier alina.March 2012 Mars 2012 3.7.2 Preparation of the specimens Replace“Annex E”by“Annex B”in the sixth sentence.3.7.3.2 Fixing of specimens Replace“Figure 6”by“Figure 5”in the first sentence.3.7.3.7 Calculation of bending fracture stress Replace“Equation(6)”by“Equation(5)”.3.8.1 General Re
7、place“Equation(5)”by“Equation(6)”in the last sentence of the first paragraph.3.8.5 Shear bonding stress Replace“Equation(7)”by“Equation(6)”in the first sentence.3.7.2 Prparation des prouvettes Remplacer“lAnnexe E”par“lAnnexe B”dans la sixime phrase.3.7.3.2 Fixation des prouvettes Remplacer“Figure 6”
8、par“Figure 5”dans la premire phrase.3.7.3.7 Calcul de la contrainte de rupture par courbure Remplacer“lquation(6)”par“lquation(5).3.8.1 Gnralits Remplacer“lquation(5)”par“lquation(6)”dans la dernire phrase du premier alina.3.8.5 Rsistance du collage au cisaillement Remplacer“lquation(7)”par“lquation(6)”dans la premire phrase.
