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洁净室及相关受控环境 第12部分:监测空气中纳米粒子浓度的技术要求 GBT 25915.12-2021.pdf

上传人:la****1 文档编号:2465595 上传时间:2023-06-25 格式:PDF 页数:15 大小:2.24MB
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资源描述

1、GB/T25915.12-2021/1S014644-12:2018前言本文件按照GB/T1.1一2020标准化工作导则第1部分:标准化文件的结构和起草规则的规定起草。本文件是GB/T25915洁净室及相关受控环境的第12部分。GB/T25915已经发布了以下部分:一第1部分:按拉子浓度划分空气洁净度等级:一第2部分:洁净室空气粒子浓度的监测:一第3部分:检测方法一第4部分:设计、建造、启动:一第5部分:运行;一第6部分:词汇:一第7部分:隔高装置(洁净风罩、手套箱、隔离器、微环境):第8部分:按化学物浓度划分空气洁净度(ACC)等级;一第9部分:按粒子浓度划分表面清净度等级:一第10部分:按

2、化学物浓度划分表面洁净度等级:一第12部分:监测空气中纳米粒子浓度的技术要求。本文件等同采用1S014644-12:2018洁净室及相关受控环境第12部分:监测空气中纳米粒子浓度的技术要求。请注意本文件的某些内容可能涉及专利。本文件的发布机构不承担识别专利的责任。本文件由全国洁净室及相关受控环境标准化技术委员会(SAC/TC319)提出并归口。本文件起草单位:中天道成(苏州)洁净技术有限公司、中国电子工程设计院有限公司,苏州苏信环境科技有限公司、苏州市计量测试院、江苏苏净工程建设有限公司、江苏嘉合洁净科技有限公司、中国标准化协会、国家纳米科学中心、中国合格评定国家认可中心、南京天加环境科技有限公司、美埃(中国)环境科技股份有限公司、中电投工程研究检测评定中心有限公司、吴江市华宇净化设备有限公司、常州祥明智能动力股份有限公司、北京恒泰建业工程项目管理有限公司、贺氏(苏州)特殊材料有限公司。本文件主要起草人:王尧、姜伟康、蔡杰、孙玉澄、王其祥、王大千、姜皓遐、朱兰、翟传明、将乃军、邴绍同、石小雷、高正、吴小泉、叶伟强、张敏、董玉平、郝胤博、惠旅峰、肖铁群。

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