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洁净室及相关受控环境 检测技术分析与应用 GBT 36066-2018.pdf

上传人:la****1 文档编号:2465608 上传时间:2023-06-25 格式:PDF 页数:19 大小:3.05MB
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资源描述

1、GB/T36066-2018洁净室及相关受控环境检测技术分析与应用1范围本标准给出了洁净室及相关受控环境的检测要求、基本仪器配置和技术要求。本标准适用于洁净室及相关受控环境的检测技术分析与应用。2规范性引用文件下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件,仅注日期的版本适用于本文件。凡是不注日期的引用文件,其最新版本(包括所有的修改单)适用于本文件。GB/T25915.1一2010洁净室及相关受控环境第1部分:空气洁净度等级3术语和定义下列术语和定义适用于本文件。3.1单向流nidirectional airflow通过洁净区整个断面、风速稳定、大致平行的受控气流。注:这种气流可

2、定向清除洁净区的粒子,3.2非单向流non-unidirectional airflow送入洁净区的空气以诱导方式与区内空气混合的一种气流分布。3.3离散粒子计数器discrete-particle counter;DPC可显示并记录确定体积空气中离散粒子数量和直径(可辨别粒径)的仪器。3.4测试气溶胶test aerosol具有已知并受控的拉径分布及浓度的固体和(或)液体粒子的气态悬浮物,3.5气溶胶发生器aerosol generator能以加热、液压、气动、超声波、静电等方式生成浓度恒定、粒径范围适当的(例如,0,05m2m)微粒物质的器具。3.6气溶胶光度计aerosol photom

3、eter利用光散射原理、用前散射光腔测量空气悬浮粒子质量浓度的仪器。3.7己装过滤系统installed filter system已安装在顶棚、侧墙、装置、风管上的过滤系统。1GB/T3606620183.8已装过滤系统检漏installed filter system leakage test为确认过滤器安装良好,向设施内无旁路渗漏,过滤器及其安装框架均无缺陷和渗漏而进行的检测。3.9扫描scanning让气溶胶光度计或离散粒子计数器的采样口覆盖面,以略有重叠的往复行程移过规定的检测区来查找过滤器及其他部件渗漏的方法。3.10等动力采样isokinetic sampling采样口进气气流的

4、平均风速与该位置上单向流的平均风速相等的采样条件。3.11渗漏leak过滤系统因密封性欠佳或缺陷使污染物漏出,造成下风向浓度超过预期值。3.12泄漏Ieak压差检测所发现围护结构的缺陷。3.13自净时间cleanliness recovery characteristic洁净室被污染后,净化空调系统开始运行到恢复到稳定的规定室内洁净度等级的时间。3.14阈值粒径threshold size选定的最小粒径以测量大于或等于该粒径的粒子浓度。4检测项目与相关应用领域不同应用领域的常规检测项目见表1。表1各应用领域常规检测项目应用领域检测项目电子制药医疗科学实验室实验室有要求洁净度(IS01级1S09级)/(Pc/m3)如纳米实验室生物安全菌落数(包括浮游菌、沉降菌、表面微生物的控制)CFUW实验室风量Q/(mh)2压差P/PaWI级手术室生物安全柜风速V/(m/s)单向流单向流工作区单向流2

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