ICS19.020N04中华人民共和国国家标准GB/T27760一2011利用S(111)晶面原子台阶对原子力显微镜亚纳米高度测量进行校准的方法Test method for calibrating the z-magnification of an atomic force microscope atsubnanometer displacement levels using Si(111)monatomic steps2011-12-30发布2012-05-01实施中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局中国国家标准化管理委员会发布