GB/T34612-2017蓝宝石晶体X射线双晶衍射摇摆曲线测量方法1范围本标准规定了蓝宝石品体X射线双品衍射摇摆曲线的测量方法。本标准适用于蓝宝石晶体X射线双品衍射摇摆山线的测量。2规范性引用文件下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件，仅注日期的版本适用于本文件。凡是不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本文件。GB/T14264半导体材料术语3术语和定义GB/T14264界定的以及下列术语和定义适用于本文件。3.1X轴X axis倾斜样品的轴，由人射X射线、衍射X射线束构成的衍射平面与样品表面相交而成。3.2X角X angle样品某品面与样品表面的夹角。3.3p角o angle样品台绕样品表面法线旋转的角度。3.4p扫描o scan连续改变9角并记录衍射强度的测量模式。3.5o角o angle人射X射线与样品表面夹角。3.6o扫描o scan连续改变，角并记录衍射强度的测量模式。4方法提要4.1晶体是由空间间距为d的一系列平行的离子，原子或分子平面构成。当一束平行的单色X射线射入该平面，且X射线在相邻平面间的光程差为其波长的整数倍时，就会产生衍射（反射）。当人射
