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微机电系统（MEMS）技术术语 GBT 26111-2010.pdf

上传人：la****1 文档编号：71986 上传时间：2023-02-14 格式：PDF 页数：37 大小：3.93MB
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资源描述

GB/T26111-2010目次前言1范围2规范性引用文件3术语和定义3.1综合性术语13.2科学与T程术语23.3与材料相关的术语33.4与设计相关的术语。43.5与加工工艺相关的术语73.6封装与组装术语103.7测量技术术语133.8与器件相关的术语15参考文献22索引23汉语拼音索引23英文对应词索引27

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