1CS71.040.40G04中华人民共和国国家标准GB/T36053-2018/IS016413:2013X射线反射法测量薄膜的厚度、密度和界面宽度仪器要求、准直和定位、数据采集、数据分析和报告Evaluation of thickness,density and interface width of thin films by X-rayreflectometry-Instrumental requirements,alignment and positioning,data collection,data analysis and reporting(ISO16413:2013,DT)2018-03-15发布2019-02-01实施中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局中国国家标准化管理委员会发布
