GB/T32641-2016前言本标准按照GB/T1.1一2009给出的规则起草。请注意本文件的某些内容可能涉及专利。本文件的发布机构不承担识别这些专利的责任。本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC203)与全国工业玻璃和特种玻璃标准化技术委员会(SAC/TC447)共同归口。本标准主要起草单位:彩虹集团公司、中国电子技术标准化研究院。本标准主要起草人:黄宁歌、李霜、王香、裴会川、杨万来、张春明。I
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