GB/T26571-2011前言本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC203)提出。本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会气体分技术委员会(SAC/TC203/SC1)归口。本标准起草单位:西南化工研究设计院。本标准主要起草人:周鹏云。
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