1、i c s 1 9.0 6 0P 9 fiJ6中华 人 民共 和 国建 筑 工 业 行 业 标 准,T G/T 1 9-1 9 9 9层流洁净工作台检验标准Te s t s t a n da r d f o r l a m i na r c l e a n be n c h1 9 9 9 一 0 6 一 0 4发布1 9 9 9 一 0 6 一 0 4实施中华人民共和国建设部发 布J G/T 1 9-1 9 9 9说明 根据国家质量技术监督局 关于废止专业标准和清理整顿后应转化的国家标准的通知(质技监督局标函(1 9 9 8)2 1 6 号)要求，建设部对 1 9 9 2 年国家技术监督局批复
2、建设部归口的国家标准转化为行业标准项 目及 1 9 9 2 年以前建设部批准发布的产品标准项 目进行了清理、整顿和审核建设部以建标(1 9 9 9)1 5 4 号文 关于公布建设部产品标准清理整顿结果的通知 对 G B 6 1 6 8-8 5(层流洁净工作台检验标准 予以确认、发布，新编号为 J G/T 1 9-1 9 9 9 0 为便于标准的实施，现仅对原标准的封面、首页、书眉线上方表述进行相应修改，并增加本说明后重新印刷，原标准版本同时废止中华人民共和国建筑工业行业标准层流洁净工作台检验标准Te s t s t a n d a r d f o r l a m i n a r c l e a
3、 n b e n c hJ G/T 1 9-1 9 9 9本标准主要适用于层流洁净工作台。其他局部净化设备可参照本标准进行检验。术语1.1 局部净化设备 是使在特定的局部空间的空气含尘浓度达到每升空气中)0.5 p m的粒子数(3.5粒的空气洁净度等级的设备称局部净化设备。它是由高效空气过滤器等组成的净化机组，如洁净工作台、洁净干燥箱、洁净层流罩、洁净自净器等。1.2 气溶胶 是由悬浮在气体中的固体或液体微粒所组成的悬浮体系。2技术要求2.1 检漏 洁净工作台安装后必须经受气溶胶的泄漏检验和诱人检验。按照3.1.1.2 进行试验时，缝隙下游侧浓度超过上游侧浓度的。.0 1 0 0，则视为有明显
4、泄漏。2.2 操作区洁净度 按照 3.2进行测试，其洁净度妻0.5 u m粒子必须镇3.5 粒/L，不准许有)5 k m粒子。2.3风速 按照 3.3 进行测试时，操作区平均风速应在0.3-v 0.6 m/，范围内。如有特殊要求，由用户与厂家另行商订。每个测点应在平均风速的士2 0%范围内。2.4噪声 按 3.5 进行测试，噪声不得超过 6 5 d B(A声级)，如有特殊要求由用户与厂家商订。2-5振动 按3.6 进行测试，操作台三个轴向(二、y,z)振幅均不得超过5 K m。如有特殊要求，用户与厂家另行商订。2.6照明 按 3.7 进行测试，操作台面平均照度不得小于3 0 0 l x。光线应
5、均匀、柔和，避免眩光。如有特殊要求由用户与厂家另行商订。2.7构造2.7.1 洁净工作台板壁表面不得生锈和剥落。对操作台面有耐酸耐腐蚀要求时，应采用耐酸材料或不锈 钢材料。2.7.2 所配用的高效空气过滤器应是经测试合格的。在一般空气环境中使用不应变质和腐蚀2.7.3 高效空气过滤器的安装密封垫，要注意选用不易老化的材料，以免引起泄漏，并应易于维护和更换。中华人民共和国建设部1 9 9 9-0 6-0 4批准1 9 9 9-0 6-0 4 实施J G/T 1 9-1 9 9 92.7.4 各部件配合紧凑合理牢靠，各门板、护板、盖板的边缘及缝隙不均匀度应符合机械装配要求。2.了，5 螺钉螺帽应无
6、锈蚀、滑丝现象，螺钉开口槽应无裂口伤痕2.了，6 机箱焊接应符合一般焊接通用技术条件的要求，不得有烧穿、漏孔、裂缝等缺陷。2-了.了 当洁净工作合在产生易燃易爆物质的房间中运行时，风机和电气设备均应为防爆性或设有防电火花措施。2.7.8 当洁净工作台在酸、有机溶剂、生物粒子等情况下进行操作时，其构造必须是能把含有这些污物的空气直接或经处理后排出室外。28 电气系统2.8 门绝缘阻抗 按3.8进行绝缘测试，其绝缘电阻应在 Z MS i以上。28.2 耐 电压 按3.9 进行耐电压测试时不得有击穿和闪络现象。2.8.3 电器装配要求2.8-3.1 电气系统的主要部件按现行国家标准和机械工业部标准来
7、配置。主要部件的安装应不遮挡或扰乱工作区内的气流并使洁净工作台运行安全可靠。2.8-3.2 电动机选择应符合 G B 7 5 5-8 1(电机基本技术要求。2.8.3.3 照明宜选用荧光灯。荧光灯座和起辉器的选择应符合G B 1 3 1 2-7 7(荧光灯座和起辉器座 标准。2.8-3.4 开关和指示灯应设置在操作人员容易操作和观察的地方。应符合 G B 4 0 5 3.3-8 3 电工成套装置中的指示灯和按钮的颜色 标准。2.8-3.5 选用导线应符合有关规定2.8.3.6 电气系统应根据负荷大小装保险丝或熔断器。电气系统的主要部件及净化设备的壳体应可靠接地。2.8-3.7 电气系统的接线图
8、应贴在洁净工作台上2.8.3.8 电气元件、部件、接插件应装配牢靠，布线合理、整齐，焊点光滑，无虚焊，无错焊。3 检 验方法3.1检漏 检漏包括泄漏测试和诱人测试。泄漏是指高效空气过滤器上游侧气溶胶，未经过滤，通过过滤器孔洞或安装不严形成的缝隙漏至过滤器下游侧的现象;诱人是指洁净工作台箱体外的气溶胶，通过箱体缝隙或操作口而诱导进人操作区的现象(见图 1,图 2)3 1.1 泄漏测试3.1.1 门仪器 采用检漏装置或同类型仪表。其性能要求 a多分散D O P 气溶胶(冷烟)发生器，其浓度通常达8 0-1 0 0 p g/L,b光度计，其对 D OP气溶胶(冷烟)浓度的测量范围为。.0 0 1 -
9、1 0 0 vg/13.1.1.2 测试方法 向高效空气过滤器上游侧发D OP气溶胶(冷烟)，同时用检漏装置的采样器在下游侧距高效空气过滤器出口约 2.5 c m处进行扫描巡检。采样量为4 7.2 X1 0 5 m丫 s C 2 8.3 L/mi n D，巡检速度钱5 c m/s。当下游侧浓度与上游侧浓度的比大于。0 1%时，则认为有明显泄漏，应进行堵漏。J G/r 1 9-1 9 9 9从 外 部诱 入 的 气 溶 胶 一，一、r-一一 一二，仁 1 一 一 一 一 一 、，一-一、，一 一-一、一一、二 二二 二一 一一 J/从 缝 晾 中 诱 入 的气 溶 胶图 1 气溶胶泄漏和诱人到水
10、平层流洁净工作台的示意图泄 沮 的气 溶腔从外部诱入的气 溶胶 ，尸 奋i f f1 1 1/从缝Mid入的，从 外 部 诱入的气 溶 胶/图 2 气溶胶泄漏和诱人到垂直层流洁净工作台的示意图3 门.2 诱人测试3.1.2.1 仪器 与 3.1.1.1 相同。3.1.2.2 测试方法 在洁净工作台箱体连结缝外侧和操作口边缘外侧所毗连的周围环境中，发D O P气溶胶(冷烟)然后用采样器在连结缝内侧和操作口边缘内侧巡检。a.缝隙诱人测试 水平层流洁净工作台，应在距操作区壁面 3 c m，距接缝 5 c m 的下游处;而垂直层流洁净工作台，应在距操作 口上挡板内表面 5 c m，距高效空气过滤器出口
11、或整流格板表面 1 0 c m处进行巡检当检漏仪(光度计)的读值超过台外读值的。.0 1%时，则确认有气溶胶诱人(见图 3、图4)。必须进行堵漏。J G/T 1 s-1 9 9 9 b外部诱人测试(操作口边缘)水平层流洁净工作台，应在距开口处边缘往里 5 c m，距壁内表面 3 c m处(见图5);而垂直层流洁净工作台，应在距前挡板下边缘往上5 c m，距前挡板内表面3 c m处以及距台面回风栅板边缘往里 1 0 c m,距回风栅板往上 5 c m处(见图 6)进行巡检。当检漏仪(光度计)读值超过台外读值的。.0 1%时，则确认有气溶胶诱人。该项外部诱人测试仅适用新产品检测。3.2洁净度二 通
12、过缝隙诱入的 气溶胶图 3 气溶胶通过水平层流洁净工作台缝隙诱人测点位置的示意图 X一汕 l#价 置.;lR 粉 使 磨 万r m/s C i 下通过缝隙诱入 的 气 溶胶图 4 气溶胶通过垂直层流洁净工作台缝隙诱人测点位置的示意图 X-测点位置，巡检速度 5 c m/。以下J G/r 1 9-1 9 9 9从 外部 诱 入 的 气 溶腔约 s c m日。门匀图 5 气溶胶从水平层流洁净工作台外部诱人测点位置的示意图 x-酬 占价 晋.;以检 谏 庶 5仁 mA 以 下排 气 图 6 气溶胶从垂直层流洁净工作台外部诱人测点位置的示意图 1 一可动挡板;2 一静压箱体;3-高效空气过滤器;4 一
13、回风栅板;5-测点位置，巡检速度5 c m/s 以下;6 操作台前沿3.2.1 仪器 尘埃粒子计数器。3.2.2 测试方法3.2.2.1 进行洁净度测试时，吸风口 处的 气溶胶浓度(对于-0.5 k m的粒子)不得小于3 5 0 0 0 粒/L,当吸风口处不能满足上述指标时，宜在洁净工作台吸风口处发多分散D OP气溶胶。3.2-2.2 当吸风口处的气溶胶浓度达到稳定条件下，在距主过滤器或整流格栅出口2 5 0 mm的平行断面的中心处(垂直层流洁净工作台距操作台面 2 5 0 m m的中心处)连续测试 5 次，求其平均值。3.2-2.3 操作区气溶胶浓度测试尽量采用大流量(4 7.2 X 1 0
14、-m/s(2 8.3 L/m i n)尘埃粒子计数器，也可采用小流量尘埃粒子计数器，但采样量不得小于 11。J G/T 1 9-1 9 9 93.2.2.4 洁净工作台吸风口处的气溶胶浓度测试，需要在测试洁净工作台操作区气溶胶浓度的时间内进行，要测 5 次以上。3.2-2.5 当测试时有)5 p m粒子出现时，应进行多次采样，当其多次出现时，才认为该测试数值是可靠的12.3 可比工作环境条件下的操作区气溶胶浓度计算:.，.(1)C矶-G 一一式中:C 操作区对比气溶胶浓度()。5 p m),(粒/L);c洁净工作台吸风口处)0.5 p m的气溶胶浓度平均值，粒/L;C,洁净工作台操作区)0.5
15、 p m的气溶胶浓度平均值，粒/L;C o 可比工作环境中的)0.5 p m的气溶胶浓度，取值为 3 5 0 0 0 粒/L,3.2.4 使用条件下操作区的洁净度 洁净工作台在使用条件下，不论其使用环境中的含尘浓度是多少，要按有关规定进行测试，并按操作区气溶胶的实测浓度来评价操作区的洁净度。3.3 风速3.3.1 仪器 采用便携式热球电风速计或便携式热敏电阻恒温风速计测试，所选用的仪器其误差不大于被测量的士1 o%，风速计应按说明书中的要求进行标定。3.3.2 测试方法3.3.2.1 把在主过滤器或扩散板下游 1 0 c m处的平面的面积分成不得少于十二等分的面积，各面积中心点即为风速测点(见
16、图 7)。但各测点间距不应大于2 5 c m,区00口 一匡00同口00口测 点 图 7 风速测点布置图13.2.2 将各测点风速值计算出截面风速算术平均值。风速和风速均匀率应达到 2.3中的规定。风速均匀率按 下式计算:V里 大(c-0,)一 V 平 V,X 1 0 0%.(2)式中:尸风速均匀率，%;Vw*(小)V,-截面风速最大(小)值，m/s;截面风速算术平均值，m/s3.4 终负荷条件下的风速测试 当主过滤器阻力增加到约初阻力(即工作台设计风速下的阻力)二倍后，要求洁净工作台操作区平均风速不得小于0.3 m/s。该项测试适用于新产品。3.4.1 仪器及设备3.4.1.1 风速计按 3.3.1 规定选用。3.4.1.2 倾斜式微压计，精度应不低于 1 级，标定应按 J J G 1 7 2-7 s+倾斜式微压计检定规程 进行。3.4.1.3 阻尼挡板采用冷轧碳素钢板，其尺寸大小为该洁净工作台上安装的高效空气过滤器的尺寸J G/T 1 9-1 9 9 9(长x宽)。将挡板均匀钻孔，使钻孔的挡板阻力加上高效过滤器的阻力约为高效过滤器的终阻力值(即终阻力达到初阻力的二倍值)。亦可采用其
