GB/T38614-2020)将平台移动至行程反向极限位置，干涉仪测量读数清零；b)将平台移动至行程正向极限位置，记录干涉仪测量值：c)重复步骤a)和步骤b)不应少于3次。6.1.2计算轴向行程T,按式(1)计算：T=2x,n台式中：T,一平台第方次轴向行程测量值：n测量次数，n3。6.2准确度6.2.1测量步骤将干涉仪严格对准平台，按照以下步骤进行准确度测量：a)按图1所示，在全行程平均分布11个测量位置，分别为p,(i=1,2,11),其中p,为行程反向极限位置，p为行程正向极限位置；b)将平台移动至第1个测量位置p1,干涉仪测量读数清零：c)将平台从p开始依次定位到p:,s,p1,在每个位置稳定后记录该位置的干涉仪测量值，d)重复步骤b)和步骤c)不应少于5次。公图1单向测量位置行程示意图6.2.2计算第i个测量位置的准确度A,按式(2)计算：-P(i=1,2,11)(2）式中：P,一平台第i个测量位置的第方次测量值：P;平台第i个测量位置的目标值：n一测量次数，n5。取A=max(A,)为平台被测轴的准确度。6.3单向重复定位精度6.3.1测量步骤单向重复定位精度测量步骤同6.2.1，其中步骤d)的重复步骤b)和步骤c)不应少于10次。6.3.2计算单向重复定位精度计算过程如下：2
