1、GB/T41751-2022氮化镓单晶衬底片晶面曲率半径测试方法1范围本文件规定了利用高分辨X射线衍射仪测试氮化傢单品衬底片品面曲率半径的方法。本文件适用于化学气相沉积及其他方法制备的氨化傢单晶衬底片晶面曲率半径的测试，氨化镓外延片品面曲率半径的测试可参照本文件进行，2规范性引用文件下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款。其中，注日期的引用文件，仅该日期对应的版本适用于本文件：不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本文件。GB/T14264半导休材料术语3术语和定义GB/T14264界定的以及下列术语和定义适用于本文件。3.1衍射平面diffracti
2、on planeX射线人射束、衍射束构成的平面。3.2晶面曲率半径curvature radius of crystal planeR衬底片名义晶面与通过衬底片中心点垂面的交线可近似的看作一段圆弧，该圆弧对应的半径。注1：在本文件中，晶面曲率半径带有符号，正号表示样品名义品面相对于测试表面为凸起状，负号表示样品名义品面相对于测试表面为凹状，注2：品面曲率是品而曲率半径的倒数。3.3入射角incident anglew角angleX射线衍射仪入射X射线与样品台表面的夹角。3.4摇摆曲线rocking curve固定衍射仪探测器位置，连续改变角并记录衍射强度得到的测量曲线。4方法原理4.1单品的原子以三维周期性结构排列，其品体可以看作是由垂直距离为d的一系列平行原子平面所构成。当一束平行的单色X射线射入该平面上，若入射光与原子平面间的夹角0、X射线波长入、晶面
