I1CS13.040.35C70中华人民共和国国家标准GB/T25915.9-2018/1S014644-9:2012洁净室及相关受控环境第9部分：按粒子浓度划分表面洁净度等级Cleanrooms and associated controlled environments-Part 9:Classification of surface cleanliness by particle concentration(IS014644-9:2012,DT)2018-06-07发布2018-10-01实施国家市场监督管理总局中国国家标准化管理委员会发布
