GB/T38447-2020微机电系统(MEMS)技术MEMS结构共振疲劳试验方法1范围本标准规定了MEMS结构共振疲劳试验的试验方法，包括设备、试验环境、样品要求、试验条件和试验步骤。本标准适用于MEMS结构的共振疲劳试验：2规范性引用文件下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件，仅注日期的版本适用于本文件。凡是不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本文件。GB/T2298机械振动、冲击与状态监测词汇GB/T10623金属材料力学性能试验术语GB/T26111微机电系统(MEMS)技术术语3术语和定义GB/T2298、GB/T10623、GB/T26111定的以及下列术语和定义适用于本文件。3.1载荷比load ratio周期加载中最大值和最小值的代数比。3.2瞬时破坏强度instantaneous failure strength静态试验或共振振动试验在快速幅值增长过程中的破坏强度。3.3参考强度reference strength静态强度或瞬时破坏强度，4试验方法4.1总则通过对样品施加预期振动幅值的共振振动进行疲劳试验。当样品失效或达到预定的试验时间或次数时，试验结束。4.2试验设备4.2.1概述试验设备能够对试验结构产生恒定振幅和稳定频率的振动。试验系统由激振器，拾振传感器（以下
